干燥設(shè)備 粉碎設(shè)備 混合設(shè)備 反應(yīng)設(shè)備 過濾分離設(shè)備 過濾材料 滅菌設(shè)備 萃取設(shè)備 貯存設(shè)備 傳熱設(shè)備 鍋爐 塔設(shè)備 結(jié)晶設(shè)備 其它制藥設(shè)備
北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司
產(chǎn)品型號
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
聯(lián)系方式:謝工查看聯(lián)系方式
更新時間:2026-05-21 11:06:32瀏覽次數(shù):84次
聯(lián)系我時,請告知來自 制藥網(wǎng)| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品新舊 | 全新 |
|---|
高精度晶圓對位平臺采用音圈電機(jī)直接驅(qū)動的并聯(lián)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計,具有速度快、剛度高、承載能力強等優(yōu)點。滿足工業(yè)產(chǎn)線上高精度、高頻率的對位、綁定、貼合、組裝等應(yīng)用需求。
高精度晶圓對位平臺
高精度晶圓對位平臺采用音圈電機(jī)直接驅(qū)動的并聯(lián)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計,具有速度快、剛度高、承載能力強等優(yōu)點。滿足工業(yè)產(chǎn)線上高精度、高頻率的對位、綁定、貼合、組裝等應(yīng)用需求。
1、典型應(yīng)用
納米壓印技術(shù)
顯微操作
視覺伺服
激光加工
光學(xué)對準(zhǔn)測量
微電子制造業(yè)
2、技術(shù)特點
高精度、高穩(wěn)定性
大偏轉(zhuǎn)角度
承載大
內(nèi)置超精密光柵位移傳感器實現(xiàn)全閉環(huán)解耦控制
響應(yīng)速度快
剛度高
頻率高
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-XYR-10B | 單位 | |
運動軸 | X,Y,θZ | |
驅(qū)動類型 | 音圈電機(jī) | |
X/Y閉環(huán)行程 | ±10/±10 | mm |
θZ偏轉(zhuǎn)角度 | ±3 | ° |
豎直大負(fù)載 | 10 | kg |
閉環(huán)分辨率 | 12.5 | nm |
最小步長 | 100/100 | nm |
最小轉(zhuǎn)動分辨率 | 1.4 | μrad |
無負(fù)載諧振頻率 | 160 | HZ |
傳感器類型 | 光柵編碼器(玻璃光柵) | |
自重 | 22 | kg |
尺寸(LxWxH) | 380x380x85 | mm |
工作溫度 | -20-100 | ℃ |
電氣接口 | D-sub9 | |
線纜長度 | 2 | m |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10) | mbar |
5、適配控制器
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
商 鋪:北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司 http://m.jjhengye.com/st140878/
主營產(chǎn)品:壓電測試儀,D33測試儀,靜壓電系數(shù)D33測試儀,靜壓電系,鐵電測試儀,介電測試儀,熱電測試儀
制藥網(wǎng) 設(shè)計制作,未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
請輸入你感興趣的產(chǎn)品
請簡單描述您的需求
號碼可能有誤,請核對!
請選擇省份
聯(lián)系方式
北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司
东港市|
太原市|
常熟市|
大城县|
麻江县|
沐川县|
利津县|
乌什县|
四会市|
汾西县|
阆中市|
山东|
勐海县|
旌德县|
伊宁市|
锡林浩特市|
铁岭市|
慈利县|
滦平县|
宝兴县|
曲麻莱县|
达拉特旗|
稻城县|
屏东县|
革吉县|
开原市|
南安市|
黎川县|
集安市|
黔西县|
新宁县|
高淳县|
兴仁县|
佛冈县|
莲花县|
泰宁县|
门头沟区|
云梦县|
邮箱|
丰原市|
文成县|
