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行業(yè)產(chǎn)品

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北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司


高精度晶圓對位平臺

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參   考   價: ¥ 555

訂  貨  量: ≥1 把

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:謝工查看聯(lián)系方式

更新時間:2026-05-21 11:06:32瀏覽次數(shù):84次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:199條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:謝工 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn) 產(chǎn)品新舊 全新

高精度晶圓對位平臺采用音圈電機(jī)直接驅(qū)動的并聯(lián)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計,具有速度快、剛度高、承載能力強等優(yōu)點。滿足工業(yè)產(chǎn)線上高精度、高頻率的對位、綁定、貼合、組裝等應(yīng)用需求。

詳細(xì)介紹

高精度晶圓對位平臺

高精度晶圓對位平臺采用音圈電機(jī)直接驅(qū)動的并聯(lián)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計,具有速度快、剛度高、承載能力強等優(yōu)點。滿足工業(yè)產(chǎn)線上高精度、高頻率的對位、綁定、貼合、組裝等應(yīng)用需求。

高精度晶圓對位平臺 

1、典型應(yīng)用

納米壓印技術(shù)

顯微操作

視覺伺服

激光加工

光學(xué)對準(zhǔn)測量

微電子制造業(yè)

2、技術(shù)特點

高精度、高穩(wěn)定性

大偏轉(zhuǎn)角度

承載大

內(nèi)置超精密光柵位移傳感器實現(xiàn)全閉環(huán)解耦控制

響應(yīng)速度快

剛度高

頻率高

 3、2D尺寸圖

高精度晶圓對位平臺 

4、規(guī)格參數(shù)


JKZC-XYR-10B

單位

運動軸

X,Y,θZ


驅(qū)動類型

音圈電機(jī)


X/Y閉環(huán)行程

±10/±10

mm

θZ偏轉(zhuǎn)角度

±3

°

豎直大負(fù)載

10

kg

閉環(huán)分辨率

12.5

nm

最小步長

100/100

nm

最小轉(zhuǎn)動分辨率

1.4

μrad

無負(fù)載諧振頻率

160

HZ

傳感器類型

光柵編碼器(玻璃光柵)


自重

22

kg

尺寸(LxWxH)

380x380x85

mm

工作溫度

-20-100

℃

電氣接口

D-sub9


線纜長度

2

m

真空(可選)

超真空兼容(5x10)

mbar

 5、適配控制器

高精度晶圓對位平臺 


關(guān)鍵詞:編碼器 傳感器 控制器

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