干燥設(shè)備 粉碎設(shè)備 混合設(shè)備 反應(yīng)設(shè)備 過濾分離設(shè)備 過濾材料 滅菌設(shè)備 萃取設(shè)備 貯存設(shè)備 傳熱設(shè)備 鍋爐 塔設(shè)備 結(jié)晶設(shè)備 其它制藥設(shè)備
北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司
產(chǎn)品型號
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
聯(lián)系方式:謝工查看聯(lián)系方式
更新時間:2026-05-21 09:00:19瀏覽次數(shù):86次
聯(lián)系我時,請告知來自 制藥網(wǎng)| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品新舊 | 全新 |
|---|
專為芯片-品圓鍵合(Dle-to-Wafer,D2W)應(yīng)用場景而設(shè)計(jì),具備高精度、高動態(tài)吶應(yīng)、且可集成于多種封裝設(shè)備的納米級運(yùn)動控制系統(tǒng)。
晶圓面內(nèi)對位臺
專為芯片-品圓鍵合(Dle-to-Wafer,D2W)應(yīng)用場景而設(shè)計(jì),具備高精度、高動態(tài)吶應(yīng)、且可集成于多種封裝設(shè)備的納米級運(yùn)動控制系統(tǒng)。
1、技術(shù)特點(diǎn)
多自由度并聯(lián):面內(nèi)三自由度納米級調(diào)整。
魯棒性:滿足鍵合過程變力條件下的力位何服需求。
適配性:適配8寸,12寸晶圓吸盤。
高剛度:帶載諧振高,滿足高速對準(zhǔn)需求。
高剛性:面外剛度,適應(yīng)偏置鍵合(D2W)需求。
2、2D尺寸圖
3、規(guī)格參數(shù)
JKZC-N19 | 單位 | |
運(yùn)動軸 | X,Y,θZ | |
驅(qū)動類型 | 壓電陶瓷 | |
X/Y閉環(huán)行程 | ±50/±50 | μm |
θZ偏轉(zhuǎn)角度 | ±0.5 | mrad |
X/Y最小步長 | 1/1 | nm |
θZ最小步長 | 100 | mrad |
帶載諧探頻率@3kg | 120/120/180 | Hz |
大負(fù)載 | 3 | kg |
整定時間 | 30/80/100 | ms |
傳感器類型 | 電容傳感器 | |
自重 | 7.26 | kg |
尺寸 (LxWxH) | 300x300x50中空φ138 | mm |
工作溫度 | -20-100 | ℃ |
電氣接口 | D-sub9(可定) | |
線纜長度 | 2 | m |
4、適配控制器
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
商 鋪:北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司 http://m.jjhengye.com/st140878/
主營產(chǎn)品:壓電測試儀,D33測試儀,靜壓電系數(shù)D33測試儀,靜壓電系,鐵電測試儀,介電測試儀,熱電測試儀
制藥網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作,未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
請輸入你感興趣的產(chǎn)品
請簡單描述您的需求
號碼可能有誤,請核對!
請選擇省份
聯(lián)系方式
北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司
遂平县|
孝义市|
嵊州市|
睢宁县|
张掖市|
西和县|
湟源县|
扎赉特旗|
林口县|
黎平县|
马尔康县|
吉林省|
西青区|
大洼县|
石屏县|
黔江区|
孟州市|
霞浦县|
赤峰市|
荃湾区|
乐陵市|
扎赉特旗|
盐边县|
阿坝|
宾阳县|
锡林浩特市|
宣汉县|
乾安县|
买车|
东乡县|
卓尼县|
华亭县|
兴和县|
建阳市|
慈利县|
巴青县|
区。|
慈溪市|
福鼎市|
塘沽区|
汶上县|
