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北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司
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更新時間:2025-09-19 11:10:14瀏覽次數:163次
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JKZC-PRJ750是一款真空平板熱壓機,專為晶圓鍵合、薄膜轉移和 LCP 層壓設計,加熱面積為 135x135mm~350x350mm。其工作溫度為 750℃,壓力為20T~40T。
型號:JKZC-PRJ750
(一)產品概述:
JKZC-PRJ750是一款真空平板熱壓機,專為晶圓鍵合、薄膜轉移和 LCP 層壓設計,加熱面積為 135x135mm~350x350mm。其工作溫度為 750℃,壓力為20T~40T。

(二)基本參數:
產品型號 | JKZC-PRJ750-4 | JKZC-PRJ750-12 |
電壓和功率 | ·AC208-240V,50/60 Hz 單相 4.8KW | AC208-240T,50/60 Hz 單相 15KW |
加熱平板(其他尺寸可定制) | 135x135mm 平面度<0.02mm(區(qū)域100X100mm) | 350x 350mm 平面度<0.03mm(區(qū)域250x250mm) |
2個平板距離(可放樣品厚度) | 80mm | 200mm |
腔體尺寸和容積 | 670長x630寬X670高(mm)~28ZL | 670 Lx630Wx719H(mm) ~303 L |
加熱平板承受壓力 | 5T(750℃) | 5T(750℃) |
壓缸行程 | 40mm | |
壓力顯示范圍 | 2.00-5000.00kg | |
壓力控制范圍 | 50-5000Kg
| |
壓機:
| 保壓時間:1-9999min | |
恒壓精度 | ±3kg | |
(三)真空平板熱壓機結構
兩塊塊加熱平板工作溫度750℃,采用高溫合金制作加熱元件插入加熱板的中心,以實現(xiàn)快速加熱。
2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫,50段程序控溫在加熱板的頂部和底部都安裝了水冷套管,以輔助散熱。進/出水管為外徑12mm聚氨酯管

(四)壓機參數:
1、壓缸行程:40mm
2、壓力顯示范圍:2.00-5000.00kg
3、壓力控制范圍:50-5000Kg
4、壓機:保壓時間:1-9999min
5、設備有兩種工作模式:手動加壓和自動加壓。自動加壓模式下設備帶有恒壓功能:當壓力值達到目標值后,在保壓的過程中,設備持續(xù)補壓使壓力保持在設定值。
6、恒壓精度:±3kg
7、溫度控制和壓力顯示:2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫,50段程序控溫,控溫精度土3℃溫度控制器具備 PID 自動校準功能、過熱保護以及斷熱電偶保護功能。工作溫度:750℃<30分鐘,連續(xù)工作溫度700℃(情性氣氛或真空環(huán)境下)加熱速率:5℃/min
8、溫度控制和壓力顯示:控制面板內內置了一款數字壓力計(控制器)。您可以設定所需的壓力值,這樣就能使電動液壓機到達壓力值時自動恒壓。

(四)真空腔體
1、電動液壓機和加熱板被放置在真空室內部
2、真空室由: ss304 不銹鋼制成
3、真空腔體安裝有一個真空密封門,直徑300mm,有一個直徑150m的石英窗口,4、便于裝樣品和觀察:所有真空密封均使用硅橡膠0型圈
5、可選購安裝了一個數字真空計(10E-4Torr)測量真空腔室的真空度
可選可選購設備(需額外費用)
5、需要一臺循環(huán)水冷機,用于對過熱的散熱板進行冷卻,以加快冷卻速度??蛇x購真空泵,機械泵抽真空度300mTorr,分子泵系統(tǒng)抽真空度10-4Torr

應用注意:
此款熱壓機也可用于測量熱電發(fā)電機模塊(頂部受熱,底部冷卻)

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