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IB-19520CCP 截面樣品制備裝置

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更新時(shí)間:2026-06-18 07:23:50瀏覽次數(shù):65

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產(chǎn)品簡介

IB-19520CCP在加工過程中利用液氮冷卻,能減輕離子束對樣品造成的熱損傷。冷卻持續(xù)時(shí)間長、液氮消耗少的構(gòu)造設(shè)計(jì)。在裝有液氮的情況下,也能將樣品快速冷卻、恢復(fù)到室溫,并且可以拆卸。配有傳送機(jī)構(gòu),在隔離空氣的環(huán)境下能完成從加工到觀察的全

詳細(xì)介紹

  • ★ 冷卻的效果  樣品:鍍鋅鋼板

  • 可提供500μm/h(8KV/2小時(shí)的平均值)的研磨速率。

  • Specimen: Galvanized iron steel


  • ※ 通常加工(無冷卻)時(shí),鐵和鋅的接合面上能夠觀察到間隙,而冷卻加工時(shí)則沒有間隙

  • ★ 使用溫度控制系統(tǒng)(選配件)冷卻  樣品:硅晶片接合面

    Normal milling                              Cooling                              Cooling temperature control    
    (without cooling)                    (holder temperature -150℃)      (holder temperature -20℃) 
    Accelerating voltage 6kV          Accelerating voltage 6kV           Accelerating voltage 6kV


  • ※ 常規(guī)加工由于熱損傷造成粘合劑變形,出現(xiàn)了很大的間隙。 -150 ℃時(shí),冷卻過度,能觀察到膠粘劑和硅晶片研磨面的接合面上出現(xiàn)了間隙,但通過溫度控制冷卻則沒有間隙。

  • ★ 合理利用間歇加工、冷卻功能和溫度控制冷卻功能可支持各種樣品的制備

  • ★ 進(jìn)程監(jiān)控功能

  • 截面加工狀態(tài)可通過CCD相機(jī)實(shí)時(shí)監(jiān)控,倍率還可調(diào)整。

  • ★ 防止充放電的噴鍍功能

  • 備有離子束濺射功能(選配項(xiàng))
    可以噴涂顆粒感良好的薄涂層。
    于象EBSD等需要花樣識別等情況。

  • ★ 平面離子減薄樣品架

  • 以小角度的離子束低角度照射樣品,達(dá)到清除表面污垢、平滑表面等效果。
    另外也非常適合于選擇性蝕刻。

  • ★ 截面樣品制備單元

  • 安裝在平面離子減薄樣品架上使用。該單元可用于在旋轉(zhuǎn)樣品的同時(shí)進(jìn)行離子束加工。
    可以用來制備象多孔質(zhì)材料、粉末、纖維等容易出現(xiàn)加工條紋的樣品的截面。

離子加速電壓2 ~ 8 kV
離子束直徑500 um( FWHM)
研磨速率500 um(兩小時(shí)的平均值、8 kV、硅材質(zhì)換算、突出量:100 um)
樣品架冷卻達(dá)到的溫度-120 ℃
樣品冷卻持續(xù)時(shí)間8小時(shí)以上
制冷箱容量約1升
承載樣品的尺寸11mm(長) × 8mm(寬)× 3mm(厚)
樣品臺移動范圍X軸:±6mm、Y軸:±2.5mm
固定樣品方法夾式
樣品加工擺角±30°
加工觀察用相機(jī)的倍率約20~100倍(6.5寸顯示器上)
機(jī)械泵: 150 mm(寬) × 427 mm(長) × 230 mm(高)、約16 kg
空氣隔離系統(tǒng)轉(zhuǎn)移艙
空氣隔離法將艙內(nèi)設(shè)定成氬氣氣氛,蓋上轉(zhuǎn)移艙蓋子,將樣品封在艙里。
操作方法觸控屏、6.5寸顯示器
使用氣體氬氣(用質(zhì)量流量控制器控制流量)
壓力測試潘寧真空計(jì)
主抽真空系統(tǒng)渦輪分子泵
輔助抽真空系統(tǒng)機(jī)械泵
尺寸、重量主機(jī):約670mm (寬) × 720mm(長) × 530mm(高)、約73kg
機(jī)械泵:約150 mm (寬) × 430 mm(長) × 230 mm(高)、約16kg
選配件大型旋轉(zhuǎn)樣品架(IB‐11550LSRH)、(IB‐11550LSRH) 
基座樣品架 (IB‐11560MBSH) 
大型樣品架(IB-11570LSH)  
噴碳樣品架(IB-12510CCH)
電源單相100~120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA
接地線獨(dú)立地線(100 Ω以下)
氬氣使用壓力:0.15±0.05 MPa(1.0 ~ 2.0 kg/cm2)
純度99.9999%以上(氬氣、氣瓶及調(diào)壓器由客戶自備)
金屬配管連接口:JISB0203 RC1/4
室溫15~25 ℃
濕度60%以下

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