分辨率 (1 kV)

0.7nm

1.3nm

分辨率 (15 kV)

0.5nm

-

分辨率 (20 kV)

-

0.7nm

加速電壓

0.01   - 30 kV

檢測器

二次電子檢測器（SED）

二次電子檢測器（SED）

高位混合檢測器（UHD）

高位電子檢測器（UED）

電子槍

浸沒式schott-plus場發(fā)射電子槍

入射電流

數(shù) pA - 500   nA (30 kV)

數(shù) pA - 300   nA (30 kV)

數(shù) pA - 100   nA (5 kV)

數(shù) pA - 100   nA (5 kV)

物鏡

超級混合物鏡SHL

混合物鏡HL

樣品臺

全對中馬達(dá)驅(qū)動樣品臺

樣品臺行程

X:   70 mm， Y: 50 mm， Z:    2～41 mm，傾斜：-5～70^o， 旋轉(zhuǎn)：360^o

EDS能譜儀

能量分辨率133eV以下， 檢測元素B-U， 60mm²大面積檢測器