倍率

Direct magnification:  x25 to 1,000,000（120 x 90 mm）
Display magnification:  x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels）

加速電壓

0.1 ～ 30 kV

探針電流

數(shù) pA ～ 200 nA

電子槍

浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍

透鏡系統(tǒng)

聚光鏡（CL）、  光闌角控制鏡（ACL）、  半浸沒式物鏡（OL）

樣品臺(tái)

全對中測角樣品臺(tái)、5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

電子檢測器系列

高位檢測器、　r‐過濾器　內(nèi)置、  低位檢測器

自動(dòng)功能

自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消象散、自動(dòng)亮度/襯度調(diào)節(jié)

圖像觀察用
液晶顯示器

屏幕尺寸 23英寸寬屏
 分辨率　1,920 × 1,080像素

抽真空系統(tǒng)

電子槍室／中間室　SIP 離子泵
樣品室　TMP 分子泵