通過高頻感應(yīng)加熱產(chǎn)生大約1萬度的熱等離子體，經(jīng)過物理/化學(xué)反應(yīng)過程，能合成納米顆粒及厚膜(鍍膜)。

原理?特征

在大氣壓或者接近大氣壓的低氣壓環(huán)境下，將高頻電源集中于局部，通過電磁感應(yīng)使各種氣體在瞬間變成１萬度左右的超高溫等離子體。
熱等離子體屬于電弧放電，往等離子體中充入原料（粉末、氣體或液體），經(jīng)過蒸發(fā)、熔融、分解、化學(xué)反應(yīng)等，能進(jìn)行納米顆粒的合成、微細(xì)粉末的球化及反應(yīng)、鍍膜、有害氣體的分解等。

• 與直流(DC)電弧放電相比能獲得大容積的等離子體。

• 氣體流速比直流(DC)等離子體相比要慢10倍，原料可以被充分地加熱、反應(yīng)。

• 由于沒有電極，也就沒有電極材料的污染，整個過程非常純凈。

• 具有氧化性、還原性、腐蝕性的各種氣體都可以使用。

• 超出了機械粉粹的能力，能將顆粒微細(xì)化到納米級。

• 由于能夠利用等離子體中的原子、離子、激發(fā)態(tài)分子和自由基等高能量化學(xué)物種的反應(yīng)，有望用來合成新物質(zhì)、新材料。

儀器概要

高頻振蕩器
對高頻感應(yīng)等離子體負(fù)載具備的匹配電路及控制性能，能充分地應(yīng)對異常放電，電源效率業(yè)界。

產(chǎn)品系列（額定輸出功率）：6kW型，35kW型，100kW型，200kW型
*300kW型也已經(jīng)生產(chǎn)

等離子體炬
每個高頻振蕩器配有專用的等離子體炬。

• 能產(chǎn)生體高密度等離子的體炬直徑及結(jié)構(gòu)

• 兩層冷卻水管結(jié)構(gòu)，內(nèi)管使用陶瓷管，與石英管相比耐久性高

※  (已取得)、在低壓～大氣壓狀態(tài)下能長時間穩(wěn)定地運行。

目前還在開發(fā)將直流 (DC) 和高頻 (RF)結(jié)合的混合式等離子體炬，混合式具有以下特征: 

• 將直流等離子體射流疊加在高頻等離子體的上方，這樣就會對高頻等離子體有輔助作用。

• 制作納米顆粒時，由于原料能用直流等離子體預(yù)熱，可以進(jìn)行高效率地蒸發(fā)（微細(xì)化）。

系統(tǒng)

能根據(jù)用途和目的提供納米顆粒合成裝置、鍍膜裝置、試驗用裝置等。
*可以提供熱等離子體發(fā)生器（成套設(shè)備）