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JXA-8230 電子探針顯微分析儀

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更新時(shí)間：2026-06-16 08:48:38瀏覽次數(shù)：67

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可以安裝通用性強(qiáng)、使用方便的能譜儀X射線探測(cè)器，組合使用WDS和EDS，能提供無(wú)縫、舒適的分析環(huán)境。

詳細(xì)介紹

檢測(cè)元素范圍WDS：(Be)*1 /B～U, EDS：B～U
X射線檢測(cè)范圍WDS檢測(cè)的波長(zhǎng)范圍:  0.087～9.3nm,
EDS EDS檢測(cè)的能量范圍:  20keV
分光譜儀數(shù)量WDS: 1～5道可選、EDS: 1臺(tái)
樣品尺寸100mm × 100mm × 50mm（H）
加速電壓0～30kV（以0.1 kV為步長(zhǎng)）
束流電流范圍10-12 ～ 10-5 A
束流電流穩(wěn)定度5%/h, ±0.3%/12h（W）
二次電子分辨率6nm（W）, 5nm（LaB6）*2
（W.D. 11mm, 30kV）
掃描倍率×40 ～  ×300,000（W. D. 11mm）
掃描圖像分辨率 5,120× 3,840
彩色顯示器EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024
SEM操作、 EDS分析用:  LCD 1,280 × 1,024
光學(xué)顯微鏡
分辨率～1um
焦深1um
真空系統(tǒng)機(jī)械泵、分子泵、離子泵                           *2
真空度樣品室:  優(yōu)于8.0 x 10-4Pa,
電子槍:  優(yōu)于9.0 x 10-5Pa

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