FTKLN 系列是針對 POU 終端客戶需求研制的氣體純化器，B 系列主要為確保高純度工藝氣體在微

電子行的純度一致性和最終純度，利用科學(xué)的材料配比將氣體中水，氧，一氧化碳，二氧化碳等

雜質(zhì)深度脫除，保證最終使用點位的氣體純凈。

‌應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè)、鋼瓶氣純化、色譜載氣純化、其他研發(fā)領(lǐng)域

‌產(chǎn)品特點‌

• 過程控制：純度控制ppb級以下，通過ISO9001:2015設(shè)備制造的凈化器，符合CE壓力設(shè)備指令（PED）認(rèn)證
• 操作安裝：無需加熱器或其他功耗，室溫下工作，建議垂直安裝，氣流方向自上而下
• 成本節(jié)約：殼體壽命20年，入口氣體水、氧含量1ppm時可使用一年，吸附飽和后可返廠再生

‌性能參數(shù)‌

• 純化氣體

  CL?、BF?、HCl、GeCl、GeH、H?S、H?Se、HBr、SiHCl?、SO?等三十多種特氣

  雜質(zhì)組成

• 雜質(zhì)成分	出口純度
  H?O	<1ppb
  O?	<1ppb
  CO	<1ppb
  CO?	<1ppb
  H?	<1ppb
  NMHC	<1ppb

  其他參數(shù)

• 內(nèi)部表面粗糙度：Ra<0.25μm/10μm
• 使用溫度：0-65℃
• 使用壓力：≤20bar
• 壓差：≤0.1bar
• 漏率：1×10??atm·cc/sec
• 出口顆粒過濾：Gasfil—低硫316L粉末燒結(jié)1.5μm濾片