Gasfil ALO 系列超純氣體過(guò)濾器，內(nèi)芯采用高純氧化鋁多孔陶瓷材料，過(guò)濾精度可達(dá) 1.5nm。專為半

導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過(guò)濾應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)，具備 30~3000L/min 流量的各種型號(hào)，特別適合小

尺寸大流量需求點(diǎn)位應(yīng)用。

產(chǎn)品特點(diǎn)

316L不銹鋼殼體；超高顆粒攔截效率；小尺寸、高通量、低阻力；適用于多種工藝氣體，兼容強(qiáng)氧化性氣體；潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝；99%完整性測(cè)試通過(guò)；99%氦氣泄漏檢測(cè)通過(guò)。

技術(shù)參數(shù)

• 濾材‌：惰性氧化鋁
• ‌殼體‌：方案一：低硫316L；方案二：超純316L（VAR/VIM+VAR）
• ‌表面處理‌：外表面：Ra<1.6μm；內(nèi)表面：電解拋光，Ra<0.2μm
• ‌過(guò)濾效率‌：顆粒攔截粒徑：≥1.5nm；顆粒攔截效率：≥99.999999%（9 LRV）@30 slpm
• ‌使用溫度‌：50℃
• ‌下游潔凈度‌：<1 particle/ft³ @ >0.01 μm，30slpm
• ‌氦氣泄漏率‌：驗(yàn)證漏率：2×10?¹? atm.cc/sec；測(cè)試漏率：1×10?? atm.cc/sec
• ‌進(jìn)氣壓力‌：207 bar
• ‌工作壓差‌：5.2 bar