光氧催化氧化器利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，使有機或無機高分子化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，與臭氧進行反應生成低分子化合物，如CO2、H2O等。投資費用低，適用范圍廣，凈化效率高，操作簡單，除臭效果好，設備運行穩(wěn)定，占地小，運行費用低，隨用隨開，不會造成二次污染。

先利于172微波對有機廢或無機廢氣進行快速列解分裂打短，再利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產(chǎn)生臭氧。通過臭氧發(fā)生器制造足夠的氧離子對廢氣進行氧化，達到讓廢氣生成二氧化碳和水的效果。