PL L5X/0.12    工作距離：26.1 mm

PL L40X/0.60   工作距離：3.98 mm

PL L100X/0.90  工作距離：2.2 mm  （干式）

30?傾斜,瞳距調(diào)節(jié)范圍53~75mm. 

粗微動同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:2μm.

五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) 

雙層機械移動式載物臺, 外形尺寸:210mmX140mm,移動范圍:63mmX50mm

6V30W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)

內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄、濾色片轉(zhuǎn)換裝置、推拉式檢偏器與起偏器

阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降

配置藍濾色片與磨砂玻璃片

防霉

系統(tǒng)組成

1.硅片檢測顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.計算機（選購） 

1、硅片檢測顯微鏡 2、適配鏡 3、數(shù)碼相機（選購）

分劃目鏡10X（Φ22mm）

明場物鏡 20X、50X、80X

0.5X、1X、0.5X帶分劃尺

USB輸出：130/300/500/1000萬像素

CANON(EF) NIKON(F)

二維圖像測量分析軟件