儀器特點(diǎn)

高精密花崗巖架構(gòu)，高精度，高穩(wěn)定性

三軸THK精密直線導(dǎo)軌

高精度0.1um分辨率進(jìn)口開放光柵系統(tǒng)

四軸CNC控制系統(tǒng)，全自動(dòng)測(cè)量

全閉環(huán)伺服運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，速度快、精度高

可聚焦測(cè)高，可加裝接觸式測(cè)頭和激光測(cè)頭模組

搖桿/鼠標(biāo)操作，簡(jiǎn)單易用

程控5環(huán)8區(qū)LED冷光源，平行輪廓光源，同軸光源

根據(jù)客戶工件的具體情況，提供不同的照明組合

全自動(dòng)高精度變倍鏡頭

可以按照客戶需求提供定制化設(shè)計(jì)

技術(shù)參數(shù)

實(shí)拍圖片