詳細介紹
產品特點:
2 . 大行程移動平臺設計
采用6寸平臺設計,行程158×158mm,可適用于對應尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
3 . 高精度物鏡轉換器
轉換器采用精密軸承設計,轉動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制。

4 . 安全、穩(wěn)重的機架結構設計
工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機架,保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調同軸調焦機構,內置100-240V寬電壓變壓器,可適應不同地區(qū)的電網電壓。底座內部設計有風循環(huán)散熱系統(tǒng),長時間使用也不會使機架過熱。

參數配置
光學系統(tǒng) | 無限遠色差光學系統(tǒng) |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
觀察筒 | 30°傾斜,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節(jié):50-76mm,分光比100:0或0:100 |
30°傾斜,倒像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節(jié):50-76mm,三檔分光比0:100;20:80;100:0 | |
5-35°傾角可調,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節(jié):50-76mm,單邊視度調節(jié):±5屈光度,兩檔分光比100:0或0:100 | |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm,視度可調,可帶測微尺 |
高眼點大視野平場目鏡PL10X/23mm,視度可調 | |
高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm,視度可調 | |
高眼點大視野平場目鏡PL10X/26.5mm,視度可調 | |
高眼點大視野平場目鏡PL15X/16mm | |
物鏡 | 無限遠長工作距平場明暗場消色差金相物鏡5X-DIC、10-DICX、20X-DIC、50X、100X(選配) |
明暗場半復消金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X(選配) | |
轉換器 | 5孔內傾式明暗場轉換器,帶DIC插槽 |
調焦機構 | 反射式機架 , 前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 33mm, 微調精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置.內置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) , 帶光亮度設定按鈕與復位按扭 |
透、反射式機架 , 前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 33mm, 微調精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置.內置 100-240V 寬電壓系統(tǒng),5W暖色LED透射光照明系統(tǒng),上下光獨立可控 | |
載物臺 | 6英寸三層機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調節(jié);平臺面積445mm×240mm,移動范圍:158mm×158mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動;玻璃載物臺板(反射用) |
6英寸三層機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調節(jié);平臺面積445mm×240mm,反射照明移動范圍:158mm×158mm;透射照明移動范圍:100×100mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動;玻璃載物臺板(透、反射用) | |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器 , 帶可變孔徑光闌,視場光闌 , 中心均可調 ;帶明暗場照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像 | 0.35X/0.5X/0.65X/1X攝像接筒,C型接口,可調焦 |
其他 | 起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉式檢偏鏡插板 ;反射用干涉濾色片組 ;高精度測微尺 ;DIC 微分干涉組件 |


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