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尼康晶圓,NWL200系列

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尼康晶圓,功能齊全的NWL200機(jī)型支持通過光學(xué)顯微鏡或圖像測(cè)量?jī)x(如Nikon NEXIV),對(duì)直徑為6英寸(150mm)和8英寸(200mm)的半導(dǎo)體晶圓的創(chuàng)新設(shè)計(jì)和材料進(jìn)行檢測(cè)。

詳細(xì)介紹

尼康晶圓,功能齊全的NWL200機(jī)型支持通過光學(xué)顯微鏡或圖像測(cè)量?jī)x(如Nikon NEXIV),對(duì)直徑為6英寸(150mm)和8英寸(200mm)的半導(dǎo)體晶圓的創(chuàng)新設(shè)計(jì)和材料進(jìn)行檢測(cè)。

復(fù)雜、可靠的裝載機(jī)處理各種晶圓

半導(dǎo)體晶圓裝載機(jī)系列,能夠?qū)⒅睆綖?英寸(150mm)和8英寸(200mm)的晶圓轉(zhuǎn)移到厚度為100微米(工廠制造選項(xiàng))的尼康Eclipse L200N和LV150N顯微鏡或NEXIV VMZ-S視頻測(cè)量?jī)x器上。

尼康晶圓,NWL200系列產(chǎn)品亮點(diǎn)

半導(dǎo)體生產(chǎn)中的高可靠性

半導(dǎo)體生產(chǎn)中的高可靠性.jpg

例如,當(dāng)電源意外中斷時(shí),宏支臂的真空卡盤保持激活狀態(tài),允許安全取出晶圓。

宏觀檢查功能

宏觀檢查功能.jpg

支持半導(dǎo)體晶圓前圖案?jìng)?cè)、后周邊和中心區(qū)域檢測(cè)??勺詣?dòng)或手動(dòng)設(shè)置晶圓旋轉(zhuǎn)速度和傾斜角度。

專為產(chǎn)量而設(shè)計(jì)

專為產(chǎn)量面設(shè)計(jì).jpg

帶有非接觸式定心機(jī)構(gòu)的快速晶圓盒升降器可使用多支臂系統(tǒng)精確快速對(duì)齊晶圓,以精度裝載和卸載晶圓。

人體工程學(xué)設(shè)計(jì)理念

人體工程學(xué)設(shè)計(jì)理念.jpg

NWL200符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì),易于操作和控制。


向左轉(zhuǎn)35度時(shí),輕松進(jìn)行晶圓入槽定位和全盒交換。

202311171513174c4588.jpg

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