詳細介紹
尼康晶圓,功能齊全的NWL200機型支持通過光學顯微鏡或圖像測量儀(如Nikon NEXIV),對直徑為6英寸(150mm)和8英寸(200mm)的半導體晶圓的創(chuàng)新設計和材料進行檢測。
復雜、可靠的裝載機處理各種晶圓
半導體晶圓裝載機系列,能夠將直徑為6英寸(150mm)和8英寸(200mm)的晶圓轉移到厚度為100微米(工廠制造選項)的尼康Eclipse L200N和LV150N顯微鏡或NEXIV VMZ-S視頻測量儀器上。
尼康晶圓,NWL200系列產品亮點
半導體生產中的高可靠性

例如,當電源意外中斷時,宏支臂的真空卡盤保持激活狀態(tài),允許安全取出晶圓。
宏觀檢查功能

支持半導體晶圓前圖案側、后周邊和中心區(qū)域檢測??勺詣踊蚴謩釉O置晶圓旋轉速度和傾斜角度。
專為產量而設計

帶有非接觸式定心機構的快速晶圓盒升降器可使用多支臂系統(tǒng)精確快速對齊晶圓,以精度裝載和卸載晶圓。
人體工程學設計理念

NWL200符合人體工程學設計,易于操作和控制。
向左轉35度時,輕松進行晶圓入槽定位和全盒交換。

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