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NEXIV VMZ-H系列影像測量儀

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更新時間:2025-08-30 08:02:52瀏覽次數(shù):149

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產(chǎn)品簡介

NEXIV VMZ-H系列影像測量儀達(dá)到NEXIV系列中的精度,兼具高度的易用性和高性能。

詳細(xì)介紹

NEXIV VMZ-H系列影像測量儀

達(dá)到NEXIV系列中的精度,兼具高度的易用性和高性能。

VMZ-H3030以高精度為核心

VMZ-H3030.jpg

VMZ-H3030提供300mm x 300mm x 150mm(X,Y,Z)機(jī)型,以及一系列高質(zhì)量的光學(xué)器件,標(biāo)配有TTL(通過鏡頭的)掃描激光器。該系統(tǒng)設(shè)計用于提供高精度測量。

NEXIV系列的精度

由于其設(shè)計和結(jié)構(gòu),VMZ-H達(dá)到了NEXIV系列中的精度。

5種光學(xué)變焦系統(tǒng)

5種光學(xué)變焦系統(tǒng).jpg

有5種類型可供選擇,以滿足不同的視場和分辨率要求。

快速高度測量

快速高度測量.jpg

高精度、快速高度測量通過高精度透鏡激光自動對焦實現(xiàn),能夠以每秒1000點的速度進(jìn)行快速掃描。

測量困難樣本的能力

測量困難樣本的能力.jpg

利用尼康自有的照明配件,可以輕松測量難測的邊緣和特征。

不間斷自動測量

不間斷自動測量.jpg

即使部件定位發(fā)生變化,也可以實現(xiàn)精確測量。

規(guī)格參數(shù)

XYZ 量程300x300x150 mm
最小讀數(shù)0.01 μm
載重量30 kg (精度保證: 10 kg)
允許誤差
(20 kg以下)
EUX,MPE EUY,MPE: 0.6+2L /1000 μm
EUXY,MPE: 0.9+3L /1000 μm
EUZ,MPE: 0.9+L /150 μm
精度保證溫度20 °C ± 0.5 K
驅(qū)動速度 XY, Z100 mm/s , 50 mm/s
最小驅(qū)動速度 XY, Z0.01 mm/s , 0.001 mm/s
相機(jī)VGA 1/3“ 黑白, 彩色 *彩色相機(jī)為選配,僅適用于 Type 1, 2 和 3.
工作距離Type 1, 2, 3: 50 mm (使用75度外環(huán)光時僅10 mm) /
Type 4: 30 mm
Type TZ: 31 mm (低倍物鏡), 11 mm (高倍物鏡)
自動對焦影像, 激光
電源AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz
功耗5A - 2.5 A
外型尺寸 (WxDxH) 和 重量主機(jī)帶底座: 1000 x 1125 x 1750 mm / 約 500 kg
控制箱: 190 x 450 x 440 mm / 約 15 kg
占地大小 (WxD)3000×2800 mm

光源
Type 1, 2, 3 和 4全白色LED反射, 透射, 3層8方向環(huán)光/Type 4 僅1層
Type TZ反射, 透射, 暗場
電源AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz
功耗5 A - 2.5 A

光學(xué)倍率

光學(xué)系統(tǒng)光學(xué)倍率視野大小主要應(yīng)用
Type 10.5X - 7.5X9.33×7.01~0.622×0.467 mm模具, 機(jī)械零件 (家電, 汽車), PCB, 電子零件
Type 21X - 15X
4.67×3.5~0.311×0.233 mm
Type 32X - 30X2.33×1.75~0.155×0.117 mm電子零件
Type 44X - 60X1.165×0.875~0.078×0.058 mm高密度封裝基板 (線寬,間距,高度)
Type TZ1X - 120X4.67×3.5~0.039×0.029 mm晶圓 (WLP, bump 高, 重布線模板, MEMS模板)

5 種光學(xué)系統(tǒng)可供選擇. Type 1, 2,  3 提供低失真的清晰圖像和大視野,Type 4 和 TZ 提供高倍率。5種光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)對不同的視野范圍和倍率大小。

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