NEXIV VMZ-NWL200影像測量儀

是一款集成了影像測量系統(tǒng)“NEXIV"和晶圓加載器“NWL200"的自動晶圓測量系統(tǒng)。NEXIV 擁有的圖像處理技術(shù)，可以自動對載具中裝載的 6 英寸或 8 英寸晶圓進行高速、高精度的測量。

高可靠性、高效率和可操作性

NEXIV 影像測量系統(tǒng)廣泛運用于半導(dǎo)體行業(yè)，現(xiàn)已與尼康久經(jīng)驗證的 NWL200 自動晶圓裝載系統(tǒng)集成。

打造出的成果便是 VMZ-NWL200，這是一款具有可靠性和效率的創(chuàng)新型測量單元。此外，專門開發(fā)的軟件簡化了需在工藝控制中執(zhí)行的復(fù)雜操作。如今，高質(zhì)量數(shù)據(jù)可以更快地反饋到生產(chǎn)線，從而限度地提高良品率。

高可靠性

VMZ-NWL200 可以自動且穩(wěn)定地執(zhí)行測量，因此消除了由于操作員對讀數(shù)的不同解釋而導(dǎo)致的結(jié)果易變性。 此外，Nikon 充分利用其作為光學(xué)設(shè)備制造商的優(yōu)勢，以提供清晰的圖像，從而準確地檢測被檢查對象的邊緣。

高效率

只需點擊一次，即可開始使用 VMZ-NWL200 執(zhí)行檢查。而且，測量效率是工業(yè)測量顯微鏡的三倍。該影像測量系統(tǒng)的效率高，可幫助實現(xiàn)低 COO（使用成本）。

高可操作性

由于晶圓圖形顯示在 GUI 上，操作員只需用鼠標點擊相應(yīng)的點即可指出要測量的芯片。

規(guī)格參數(shù)

*1. 銷售前需進行晶圓傳輸評估
*2. 25 片晶圓的傳輸時間，不包括測量時間