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詳細(xì)介紹
NEXIV VMZ-S系列影像測(cè)量?jī)x
高精度、高速度、方便易用的微米級(jí)坐標(biāo)測(cè)量。
為各種場(chǎng)合提供以高產(chǎn)量為核心的快速、準(zhǔn)確的檢測(cè)。
VMZ-S系列提供3大類機(jī)型，以及一系列高質(zhì)量的光學(xué)器件，標(biāo)配有TTL（通過(guò)鏡頭的）掃描激光器。高速度和高精度相結(jié)合，可以更快地完成測(cè)量任務(wù)。
VMZ-S系列具有高精度和高速測(cè)量功能，可滿足日益增長(zhǎng)的復(fù)雜需求，也可進(jìn)行廣泛應(yīng)用。
6種光學(xué)變焦系統(tǒng)
該系統(tǒng)從零開(kāi)始設(shè)計(jì)，利用專門設(shè)計(jì)的尼康光學(xué)系統(tǒng)提供高精度測(cè)量。
高速高度測(cè)量
高精度、高速高度測(cè)量通過(guò)高精度透鏡激光自動(dòng)對(duì)焦實(shí)現(xiàn)，能夠以每秒1000點(diǎn)的速度進(jìn)行高速掃描。
測(cè)量困難樣本的能力
利用尼康自有的照明配件，可以輕松測(cè)量難測(cè)的邊緣和特征。
不間斷自動(dòng)測(cè)量
即使部件定位發(fā)生變化，也可以實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量。
參數(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | VMZ-S3020 | VMZ-S4540 | VMZ-S6555 |
| XYZ量程 | 300×200×200 mm *TZ型低倍物鏡: 250×200×200 mm | 450x400x200 mm *TZ型低倍物鏡: 400x400x200mm | 650x550x200 mm *TZ型低倍物鏡: 600x550x200mm |
| 最小讀數(shù) | 0.01 μm | ||
| 載重量 | 20 kg (精度保證: 5 kg) | 40 kg (精度保證: 20 kg) | 50 kg (精度保證: 30 kg) |
| 允許誤差(L: 長(zhǎng)度mm) | EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4L / 1000 µm EUXY, MPE 2.0 + 4L / 1000 µm EUZ, MPE1.2 + 5L / 1000 µm | ||
| 測(cè)頭誤差 1),2): MPE PF2D 0.8 µm 畫面內(nèi)測(cè)量誤差 1),2): MPE PFV2D 0.3 µm | |||
| 相機(jī) | 黑白 / 彩色 1/3 CMOS Camera | ||
| 鏡頭工作距離 | Type 1, 2, 3: 50mm Type 4: 30mm Type TZ: (高倍物鏡) 11 mm / (低倍物鏡) 32 mm Type A: 73.5 mm (帶激光63 mm) | ||
| 激光對(duì)焦再現(xiàn)性 1),3) | 2σ ≦ 0.5 µm | ||
| 光源 | 反射, 透射, 3層8方向白色LED環(huán)光/Type 4 僅1層 Type TZ: 左物鏡: 反射, 暗場(chǎng) ; 右物鏡: 反射, 透射, 暗場(chǎng) Type A: 反射, 透射, 單層8方向白色LED環(huán)光 | ||
| 電源，功耗 | AC100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A ? 2 A | ||
| 外型尺寸 & 重量 | 主機(jī)帶底座 (W×D×H): 700×730×1793 mm / 約 265 kg 控制箱: 190×450×450 mm / 約 12 kg | 主機(jī)帶底座 (W×D×H): 1000×1340×1818 mm / 約 510 kg 控制箱: 190×450×450 mm / 約 12 kg | 主機(jī)帶底座(W×D×H): 1200×1640×1818 mm / 約 740 kg 控制箱: 190×450×450 mm / 約 12 kg |
| 占地大小 (W×D) 4) | 2700×2400 mm | 3000×3000 mm | 3200×3300 mm |
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