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詳細(xì)介紹
OLYMPUS AL110/MX61 產(chǎn)品特性
● 用于100mm/125mm/150mm晶圓傳送及檢查(ALL110-6)
● 用于200mm晶圓傳送及檢查,200/150mm晶圓交替檢查可能(AL110-8)
● 非接觸式對(duì)中方式,潔凈度提高,減少晶圓污染的可能性
● 靈活的程式設(shè)計(jì),最短的搬送時(shí)間極大的提高了生產(chǎn)效率
● AL110-12 3--VMM 晶圓自動(dòng)搬送機(jī)臺(tái)(NEW)
OLYMPUS AL110規(guī)格：
● 用于100mm/125mm/150mm晶圓傳送及檢查(ALL110-6)
● 用于200mm晶圓傳送及檢查,200/150mm晶圓交替檢查可能(AL110-8)
● 非接觸式對(duì)中方式,潔凈度提高,減少晶圓污染的可能性
● 靈活的程式設(shè)計(jì),最短的搬送時(shí)間極大的提高了生產(chǎn)效率
● AL110-12 3--VMM 晶圓自動(dòng)搬送機(jī)臺(tái)(NEW)
OLYMPUS AL110規(guī)格：
| 型號(hào) | 200mm型 | 200/150mm 兼容型 | 100/125/150mm 兼容型 | |||||||||||
| 項(xiàng)目 | L | LM | LB | MB | LMB | L | LM | LB | MB | LMB | L | LM | LMB | |
| 晶圓直徑 | 200晶圓邊 200mm切口 | √ | √ | |||||||||||
| 150mm晶圓平邊 | √ | |||||||||||||
| 100/125/150mm 晶圓平邊 | √ | |||||||||||||
| 觀察方式 | 連續(xù)和采樣 | √ | ||||||||||||
| 轉(zhuǎn)換方式 | 正面宏觀檢測(cè) | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | ||
| 背面宏觀檢測(cè) | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | ||||||
| 2次背面檢測(cè) | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | |||||||
| 表面顯微觀測(cè) | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | |||||||
| 適用顯微鏡 | MX61/MX61L型 | √ | ||||||||||||
| 規(guī)格(mm) | 580(W)*580(D)*297(H) | 490(W)*520(D)*297(H) | ||||||||||||
| 重量(kg) | 30 | 32 | 31 | 31 | 33 | 30 | 32 | 31 | 31 | 33 | 26 | 28 | 30 | |
| 能耗 | 電源：AC100-120V0.90A,或AC220-240V0.55A 50/60Hz.真空壓力：-67kPa～-80kPa | |||||||||||||
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