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詳細(xì)介紹
OLYMPUS U-UVF248 系統(tǒng)特性
● 實(shí)現(xiàn)80nm高分辨率，高對比觀察
● 采用深紫外線248nm的色差補(bǔ)正光學(xué)系，實(shí)現(xiàn)明亮、高對比深紫外線觀察
● 系統(tǒng)設(shè)計(jì)自如和實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間的單元式小型輕量化
● 采用長壽命汞氙燈，減少更換燈泡所耗，降低操作成本
OLYMPUS U-UF248深紫外顯微鏡單元規(guī)格
DUV圖象采集系統(tǒng)規(guī)格
顯微鏡本題規(guī)格
● 實(shí)現(xiàn)80nm高分辨率，高對比觀察
● 采用深紫外線248nm的色差補(bǔ)正光學(xué)系，實(shí)現(xiàn)明亮、高對比深紫外線觀察
● 系統(tǒng)設(shè)計(jì)自如和實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間的單元式小型輕量化
● 采用長壽命汞氙燈，減少更換燈泡所耗，降低操作成本
OLYMPUS U-UF248深紫外顯微鏡單元規(guī)格
| UVF248鏡筒 U-UVF248IM | DUV光學(xué)系統(tǒng) | 使用波長：248±4nm；光源：80W汞氙燈；物鏡：專用DUV100*/N.A.0.9WD0.2mm；中間倍率：2.5x；視場數(shù)：12.5(實(shí)際視場50μm)；適用環(huán)境：23±5℃ |
| 可視光學(xué)系統(tǒng) | 物鏡：UIS物鏡；中間倍率：1x;視場數(shù)：22(相機(jī)觀察為20) |
DUV圖象采集系統(tǒng)規(guī)格
| DUV相機(jī) | XCD-SX910UV(Sony制造)高分辨率DUV數(shù)碼相機(jī)；SXGA1280(H)*960(V)；紫外適用范圍：190nm-380nm(可視領(lǐng)域中也有適用部分) |
| DUV相機(jī)操作系統(tǒng)適用 | 適用PCI路徑的IEEE1394圖象輸入板；相機(jī)操作用PC(WindowsXP,驅(qū)動:CD-ROM或DVD-ROM) |
顯微鏡本題規(guī)格
| 推薦使用的顯微鏡系統(tǒng) | 半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡/MX61/MX61L； 工業(yè)檢測顯微鏡/MX51； |
| 系統(tǒng)消耗電量 | 3kW() |
| 重量 | 約46kg(與MX61組合時(shí))，約28kg(與MX51組合時(shí)) |
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