制藥網(wǎng)
詳細(xì)介紹
OLYMPUS MX61/MX61L 產(chǎn)品特性
● 大型載物臺(tái)搭載：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)
● 采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利
● 多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
● 透射和反射照明可同時(shí)使用，極大提高液晶基板觀察效果
OLYMPUS MX61/61L 產(chǎn)品特點(diǎn)
● 大型載物臺(tái)搭載：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)
● 采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利
● 多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
● 透射和反射照明可同時(shí)使用，極大提高液晶基板觀察效果
OLYMPUS MX61/61L 產(chǎn)品特點(diǎn)
| 縮短檢查用時(shí)，提高檢查效率 | |
| 自動(dòng)聚焦附件 MX-AF | 透射光檢查照明 MX-TILLA/MX-TILLB |
| MX專用的自動(dòng)聚焦附件可配合所有的反射光照明觀察方式，甚至包括暗視場(chǎng)和微分干涉相襯觀察。實(shí)現(xiàn)快速和精確的自動(dòng)對(duì)焦，甚至觀察方式轉(zhuǎn)換時(shí)也能實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的找到焦面。 | 兩種照明裝置可選，通用型及高數(shù)值孔徑型。為FPD，MASK板檢查提供合適的照明，并且可配備起偏鏡，實(shí)現(xiàn)投射光簡(jiǎn)易偏光觀察。 |
| 高反差，更高分辨率，更高倍率檢查 | 用于光刻膠殘留檢查的熒光觀察方式 |
| 共聚焦附件 U-CFU | 熒光分光鏡模塊 |
| 共聚焦光學(xué)系統(tǒng)可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可達(dá)0.18μm,并可對(duì)多層線條的器件分層對(duì)焦，獲得高分辨率，高反差的共焦圖像。 | 備有U.B.G等多種熒光方式可選，用于光顆膠殘留以及OLED檢查。 |
| 方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數(shù)獲得 RS232C | 用于晶圓以及器件，甚至焊腳的內(nèi)部檢查 近紅外線觀察附件 |
| MX61/MX61L標(biāo)配包括一個(gè)RS232C接口，使得用PC控制顯微鏡電動(dòng)部分成為可能，并且可以實(shí)現(xiàn)使工藝線上的幾臺(tái)顯微鏡都在同樣的設(shè)定狀態(tài)下工作。 | 包括專門的紅外物鏡等附件，對(duì)從可見光到近紅外波段光線的像差做矯正，用于IC深層或內(nèi)部檢查，可實(shí)現(xiàn)對(duì)WAFER BUMP的全面檢查。 |
制藥網(wǎng)
怀化市|
乌拉特前旗|
沧源|
沙湾县|
叙永县|
青龙|
福鼎市|
大田县|
潞城市|
兴和县|
柳江县|
新津县|
峨眉山市|
澄江县|
邢台县|
刚察县|
车致|
都昌县|
永吉县|
蒲城县|
赣榆县|
桃江县|
武胜县|
施秉县|
聂拉木县|
永泰县|
陆良县|
吐鲁番市|
长乐市|
淮北市|
娱乐|
金溪县|
柞水县|
富宁县|
蓝山县|
平凉市|
新源县|
沅江市|
蚌埠市|
宾阳县|
盐池县|