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激光掃描共焦顯微鏡 OLS3000

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更新時間：2025-09-09 08:38:21瀏覽次數(shù)：257

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產(chǎn)品簡介

●高的分辨率、高精度、XY分辨率可達0.12微米●3D成像，高精度測量，Z軸最小讀數(shù)精度0.01微米

詳細介紹

● 高的分辨率、高精度、XY分辨率可達0.12微米

●3D成像，高精度測量，Z軸最小讀數(shù)精度0.01微米。

●實時像的獲得和測量同時。

●408nm激光采用

 





激光掃描共焦顯微鏡OLS3000可進行如下檢測：
 

1）測量
  • 2D測量：測量范圍1.5mm～1 μm；
    不僅是線寬度，也能進行圓的直徑等幾何測量。
  • 3D測量：測量范圍1mm～0.5 μm；
    體積、容積、表面積等3D測量；可測量透明膜厚度。
  • 粗糙度分析：于Rz0.1 μm 程度的粗糙度分析；
    是線粗糙度，面粗糙度也能檢測。
2）3D形貌
  • 能獲得3D色彩等多種多樣的信息
  • 等高線顯示、網(wǎng)格狀顯示等方式體現(xiàn)3D信息。
  • 利用微分干涉可識別表面的更加細微的凹凸信息。
3）高分辨率觀察
  • 顯示器倍率為14，400倍。接近SEM的放大率。
  • 接近SEM的高對比度的解像度。
  • 可以分辨常規(guī)顯微鏡所不能的0.12 μm 的LINE和SPACE
  • 利用微分干涉進一步提高分辨率。
  • 實時觀察。
  • 觀察范圍是2，560X2，560μm

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