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探針臺(tái)顯微鏡PSM-1000

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更新時(shí)間:2024-06-27 13:47:50瀏覽次數(shù):263

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介全新的一體化設(shè)計(jì),具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量,方便使用的正像光學(xué)系統(tǒng),是理想的檢測(cè)半導(dǎo)體器件的工具,支持3種激光波長(zhǎng),可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
全新的一體化設(shè)計(jì),具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量,方便使用的正像光學(xué)系統(tǒng),是理想的檢測(cè)半導(dǎo)體器件的工具,支持3種激光波長(zhǎng),可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)??梢詮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、冶金等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。

描述

●  人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°- 30°轉(zhuǎn)動(dòng),調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向,使操作者的使用更加舒適。

●  管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡,三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換,切換簡(jiǎn)單、方便。其中1X NUV對(duì)355nm和532nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化,1X NIR對(duì)532nm和1064nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化,當(dāng)使用這3個(gè)波長(zhǎng)的激光器時(shí),可以得到更好的激光透過(guò)率。

●  光路切換拉桿
通過(guò)推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí),雙目頭和攝像接口的分光比為0:100,此時(shí)從攝像接口上入射的激光99%的進(jìn)入光路,提高了激光效率;當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí),雙目頭和攝像接口的分光比為50:50,此時(shí)即可用雙目頭觀察,同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。

●  偏光觀察
主體上留有偏光插孔,插上偏光附件(選配件),可進(jìn)行偏光觀察。

●  調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適,工作可靠。調(diào)焦機(jī)構(gòu)可承載45磅(20.4Kg),確保安裝激光器和CCD攝像頭后,仍然能夠正常工作。

●  轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器,使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙,可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。

●  物鏡
PSM-1000采用長(zhǎng)工作距離的無(wú)應(yīng)力平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡,提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物鏡樣本。

●  數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸,選擇合適的攝像接頭,安裝在攝像接口上,組成數(shù)碼攝像系統(tǒng),就可以在電腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。

●  照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng),光源采用外置冷光源。長(zhǎng)達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來(lái)更自由的操作空間。

●  探測(cè)工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測(cè)工作站上,進(jìn)行硅片的測(cè)試。

●  激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷,雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置,并提供補(bǔ)償墊片。無(wú)需專用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。

注:在安裝和使用激光器之前,請(qǐng)您仔細(xì)閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊(cè)。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產(chǎn)生的安全和性能問(wèn)題,麥克奧迪實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司對(duì)此概不負(fù)責(zé)。

規(guī)格說(shuō)明

PSM-1000主要技術(shù)參數(shù)

鉸鏈?zhǔn)饺款^ 圖像 正像
瞳距 調(diào)節(jié)范圍 55-75mm
視場(chǎng)直徑 24mm
分光比 可通過(guò)光路切換拉桿自由切換(雙目頭:第三目=100:0或50:50)
主體 管鏡 1X(可對(duì)紫外及紅外線進(jìn)行優(yōu)化),2X
激光的使用 拉出光路切換拉桿即可
可應(yīng)用的激光 1064/532/355 nm NWR laser
調(diào)焦機(jī)構(gòu) 粗微調(diào)手輪 調(diào)焦行程:50mm;粗動(dòng)手輪4mm/轉(zhuǎn);微動(dòng)手輪0.1mm/轉(zhuǎn)
調(diào)焦機(jī)構(gòu)承重量 20.5kg
攝像接頭 C-Mount接頭
照明系統(tǒng) 同軸垂直照明,可變孔徑光欄
冷光源(選配) 150W冷光源照明器及工業(yè)顯微鏡光纖(2m)
物鏡轉(zhuǎn)換器 四孔物鏡轉(zhuǎn)換器,中心可調(diào),可拆卸
物鏡(選配) 長(zhǎng)工作距離平復(fù)消色差物鏡 2X, 5X, 10X, 20X, 50X
超長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡 50X, 100X
可調(diào)焦長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡 2X, 5X, 10X, 20X, 50X
可調(diào)焦超工作距離復(fù)消色差物鏡 50X, 100X
NIR超長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡 20X, 50X
重量 主體:6.8kg;冷光源照明器:2.5kg

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