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RMDJL系列單晶爐機(jī)組

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冉昆真空科技（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

RMDJL系列單晶爐機(jī)組

詳細(xì)介紹

商品名稱: RMDJL系列單晶爐機(jī)組
商品編號: 1179458926638944256

單晶爐應(yīng)用概述

單晶爐是主要用于生產(chǎn)無錯位單晶的設(shè)備。設(shè)備主要分成兩個部分：

1.在惰性氣體填充環(huán)境內(nèi)，多晶硅等多晶材料將通過石墨加熱器進(jìn)行融化。

2.設(shè)備內(nèi)部安裝提拉頭，將對融化的多晶材料進(jìn)行直拉并最終生產(chǎn)出產(chǎn)品。

單晶爐生產(chǎn)過程需輔助配套真空機(jī)組，針對單晶爐生產(chǎn)工藝需求，真空機(jī)組需求進(jìn)行專門配置和定制化設(shè)計(jì)以符合單晶爐應(yīng)用工藝。

ReM 定制化單晶爐真空機(jī)組

冉昆真空科技提供的單晶爐設(shè)備配套真空機(jī)組以高效羅茨螺桿真空機(jī)組作為主體，機(jī)組后端配置消音器可有效降低設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過程中的噪音。機(jī)組前端配置過濾器，該裝置可以選配。過濾器的添加將有效降低單晶爐中潛在的粉塵顆粒進(jìn)泵的幾率。客戶可根據(jù)工況實(shí)際情況進(jìn)行選配。

主體設(shè)備常規(guī)配置：

序號	泵種	設(shè)備型號	電機(jī)功率，KW	電機(jī)形式
1	羅茨真空泵	ZJ-150D	4	水冷封閉電機(jī)
2	干式螺桿真空泵	RMD-200D	7.5	水冷封閉電機(jī)

如上機(jī)組型號： RMDJL150-T

結(jié)合單晶爐運(yùn)行特點(diǎn)，機(jī)組配置針對電氣控制、保護(hù)裝置。機(jī)組可有效對運(yùn)行溫度水平進(jìn)行監(jiān)控。。當(dāng)出現(xiàn)高溫情況，將分別進(jìn)行報(bào)警和停機(jī) 另，機(jī)組配置定制化電控箱，可有效進(jìn)行機(jī)組控制等操作。同時(shí)機(jī)組真空度、氮?dú)鈿庠唇钥赏ㄟ^調(diào)節(jié)閥、壓力表分別進(jìn)行控制和監(jiān)控。另，選配方面針對機(jī)組前端過濾器，機(jī)組可通過進(jìn)行壓差檢測，并實(shí)時(shí)對濾芯堵塞狀態(tài)進(jìn)行提示和報(bào)警。

RMDJL150-T 型羅茨螺桿真空機(jī)組性能參數(shù)列表：

機(jī) 組型號		單位	RMDJL150-T
抽氣速率		L/S （50Hz/60Hz）	175/210
抽氣速率		m3/h （50Hz/60Hz）	630/756
極限真空		Pa （50Hz/60Hz）	≤0.2/0.1
極限真空		Torr （50Hz/60Hz）	≤1.5X10-3/≤7.5X10-4
水冷密封電機(jī)	頻率	Hz	50/60
	電壓	V	380
	功率	kW	3+4.5
轉(zhuǎn)速	羅茨真空泵 ZJ-150D	rpm （50Hz/60Hz）	2900/3480
轉(zhuǎn)速	干式螺桿真空泵 RMD-200D	rpm	2900
氮?dú)?/span>	壓力	MPa	0.05-0.1
氮?dú)?/span>	流量	l/min	6-20
冷卻水	壓力	MPa	0.2-0.4
	壓力差	MPa	0.1
	溫度	℃	10-30
	流量	l/min	3-5
進(jìn)氣口徑		mm	DN100
排氣口徑		mm	DN40
重量		Kq	600
噪音		dB（A）	72
外形尺寸（長×寬×高）		mm	1000×660 ×1050

RMDJL150-T 型螺桿真空機(jī)組供貨范圍

序號	設(shè)備名稱	數(shù)量	單位	備注
機(jī)械部分
1	ZJ-150D羅茨真空泵	1	臺
2	RMD-200D 螺桿真空泵	1	臺
3	減震墊	4	個
4	機(jī)組底座	1	套	配置萬向輪
5	消音器	1	個
6	副水箱	1	個
7	過濾器	1	臺	可選配置
電氣閥門部分
8	水冷封閉電機(jī)	2	臺
9	水溫檢測器	1	個
10	氮?dú)鈮毫Ρ?/span>	1	個
11	壓力調(diào)節(jié)閥	1	個
12	電磁壓差閥	1	個	可選配置
13	電控箱	1	個	可選配置
管路部分
14	電源、氣源、水路接口	1	套
15	波紋管（DN40）	1	個
16	波紋管（DN100）	1	個	可選配置
17	過濾器電磁壓差閥	1	個	可選配置