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飛潮（上海）新材料股份有限公司
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產(chǎn)品型號
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所 在 地上海市
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更新時間：2026-05-28 08:20:45瀏覽次數(shù)：93次
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優(yōu)異的化學兼容性、適用多種工藝氣體結(jié)合過濾器的顆粒攔截，減少工藝腔體排氣時的湍流Gasfaver系列擴散器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計
優(yōu)異的化學兼容性、適用多種工藝氣體
結(jié)合過濾器的顆粒攔截，減少工藝腔體排氣時的湍流
Gasfaver系列擴散器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。Gasfaver擴散器結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，過濾精度達0.003μm。獨特的濾材結(jié)構(gòu)設計，在保證過濾效率的同時，也避免引起湍流，對工藝室環(huán)境造成影響，防止吹起顆?；蛏踔链灯鸸杵?/span>
產(chǎn)品特色
- 減少工藝腔體排氣時的湍流
- 適用于多種工藝氣體
- 潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
- 99% 完整性測試通過
- 99% 氦氣泄露檢測通過
典型應用
- 半導體制程中真空腔體快速放氣
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