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飛潮（上海）新材料股份有限公司
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所 在 地上海市
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更新時間：2026-05-27 07:13:31瀏覽次數(shù)：105次
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電子級超純氣體高效過濾、結(jié)構(gòu)緊湊、強度高優(yōu)異的化學兼容性、適用多種工藝氣體GISTmini超純氣體過濾器專為電子級氣體超純凈化開發(fā)設計，過濾精度可達3nm，設備結(jié)構(gòu)緊湊，強度高，與所有類別的半導體工藝氣體具有良好的兼容性
電子級超純氣體高效過濾、結(jié)構(gòu)緊湊、強度高
優(yōu)異的化學兼容性、適用多種工藝氣體
GISTmini 超純氣體過濾器專為電子級氣體超純凈化開發(fā)設計，過濾精度可達 3nm，設備結(jié)構(gòu)緊湊，強度高，與所有類別的半導體工藝氣體具有良好的兼容性。推薦用于惰性和反應性氣體。
產(chǎn)品特色
- 316L 不銹鋼電子級拋光外殼
- 高通量低壓損
- 優(yōu)異的化學相容性
- 耐高溫、高壓
- 100％完整性測試
- 100％氦氣泄漏測試
- 潔凈室制造和包裝
典型應用
- 晶圓制程PVD、CVD、刻蝕、離子注入等工藝氣體過濾
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