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更新時間:2026-05-26 08:57:11瀏覽次數(shù):67次
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GasfilALO系列超純氣體過濾器,內(nèi)芯采用高純氧化鋁多孔陶瓷材料,過濾精度可達1.5nm
Gasfil ALO 系列超純氣體過濾器,內(nèi)芯采用高純氧化鋁多孔陶瓷材料,過濾精度可達 1.5nm。專為半
導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用進行設(shè)計,具備 30~3000L/min 流量的各種型號,特別適合小
尺寸大流量需求點位應(yīng)用。
316L不銹鋼殼體;超高顆粒攔截效率;小尺寸、高通量、低阻力;適用于多種工藝氣體,兼容強氧化性氣體;潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝;99%完整性測試通過;99%氦氣泄漏檢測通過。
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