工
作
臺

X/Y軸行程

1000MM*1600MM

Z軸行程

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm，工作距離95mm

金屬臺面尺寸

1200MM*1800MM

玻璃臺面尺寸

1100MM*1700MM

傳動型式

X/Y/Z軸日本進(jìn)口THK精密線性導(dǎo)軌和進(jìn)口THK研磨級滾珠螺桿

測量伺服驅(qū)動
系統(tǒng)

光學(xué)尺分辨率：X/Y/Z軸0.0005MM（0.5UM）

測量精度：≤3UM+L/200 重復(fù)精度：≤3UM+L/200

X/Y/Z三軸日本松下高性能伺服電機，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

攝像機：日本SONY 1/3″CCD 攝像機放大倍率：30-230X

自動變倍鏡頭：NAV高清變倍鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-4.5X  
可選配0.5X物鏡，總放大倍率15-115X  
可選配2X物鏡，總放大倍率60-460X

光源系統(tǒng)

表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調(diào)

儀器外形尺寸（L*W*H）

1750MM*2650MM*1650MM

儀器重量（KG）

3600KG