工
作
臺(tái)

X/Y軸行程

1200MM*1800MM

Z軸行程

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm，工作距離95mm

金屬臺(tái)面尺寸

1400MM*2000MM

玻璃臺(tái)面尺寸

1300MM*1900MM

傳動(dòng)型式

X/Y/Z軸日本進(jìn)口THK精密線性導(dǎo)軌和進(jìn)口THK研磨級(jí)滾珠螺桿

測(cè)量伺服驅(qū)動(dòng)
系統(tǒng)

光學(xué)尺分辨率：X/Y/Z軸0.0005MM（0.5UM）

測(cè)量精度：≤3UM+L/200 重復(fù)精度：≤3UM+L/200

X/Y/Z三軸日本松下高性能伺服電機(jī)，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

攝像機(jī)：日本SONY 1/3″CCD 攝像機(jī)放大倍率：30-230X

自動(dòng)變倍鏡頭：NAV高清變倍鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-4.5X  
可選配0.5X物鏡，總放大倍率15-115X  
可選配2X物鏡，總放大倍率60-460X

光源系統(tǒng)

表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長(zhǎng)、亮度可調(diào)

儀器外形尺寸（L*W*H）

2000MM*2850MM*1650MM

儀器重量（KG）

4500KG