工

作

臺

X/Y軸軸行程

500MM*400MM

Z軸行程

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm，工作距離95mm

金屬臺面尺寸

700MM*600MM

玻璃臺面尺寸

530MM*430MM

傳動型式

傳動型：X/Y/Z軸中國臺灣進口精密線性導軌和中國臺灣進口研磨級滾珠螺桿  

測量伺服驅(qū)動系統(tǒng)

三軸金屬貼片尺 分辨率：X/Y/Z軸0.0002MM（0.2UM）

測量精度：≤3UM+L/200 重復精度：≤3UM

X/Y/Z三軸中國臺灣高性能閉環(huán)伺服電機，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

攝像機：1/3″CCD 攝像機放大倍率40-230X

自動連續(xù)變倍鏡頭：高清變倍鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-5.0X

光源系統(tǒng)

5環(huán)8區(qū)表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調(diào)

儀器外形尺寸（L*W*H）

900MM*1050MM*1650MM

儀器重量

720KG