工作臺(tái)

金屬臺(tái)尺寸(mm)

500 x 330

玻璃臺(tái)尺寸(mm)

350 x 250

X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm)

300 x 200

手動(dòng)Z軸行程(mm)

120

自動(dòng)Z軸行程(mm)

2

外形尺寸(mm)

825 x 660 x 910

儀器重量(kg)

130

X、Y、Z軸分辨力(μm)

0.5

自動(dòng)Z軸分辨力(μm)

0.1

示值誤差(μm)

E_1XY=( 2.5+ L/100) μm  (L為測量長度，單位mm)

物鏡放大倍數(shù)誤差

包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08%

落射照明光源

可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/p>

底光照明光源

可調(diào)高亮度LED燈源

目視系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

物鏡放大倍數(shù)

5X、10X、20X、50X

5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡

目鏡放大倍數(shù)

10X雙鏡筒

1/2"CCD攝像機(jī)

視頻總倍率

50X ~500X

142.5X ~1425X (19.5"顯示器，分辨率1440 x 900)

單層透明膜厚度測量模組

高精度測量模式

快速測量模式

厚度測量范圍

100nm ~300nm

300nm ~500nm

500nm ~3μm

3μm ~20μm

分辨力

5nm

5nm

7.5nm

0.1μm