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詳細(xì)介紹
器件教學(xué)套件和工藝教學(xué)套件為用戶提供了一個(gè)學(xué)習(xí)7nm工業(yè)級(jí)“數(shù)據(jù)"的機(jī)會(huì)，而在當(dāng)前高校教育中，還有一個(gè)問(wèn)題，就是需要學(xué)生熟悉真實(shí)的工業(yè)“場(chǎng)景"，場(chǎng)景+數(shù)據(jù)的模式，讓同學(xué)能夠“知其然，知其所以然"，為此，我們建立了一個(gè)7nm集成電路虛擬現(xiàn)實(shí)（VR）實(shí)驗(yàn)室，重現(xiàn)真實(shí)的工業(yè)“場(chǎng)景"
該套件包含如下內(nèi)容
1.工業(yè)級(jí)集成電路制造設(shè)備：如300毫米（12英寸）半自動(dòng)探針臺(tái)、EUV光刻機(jī)等。
2.工業(yè)級(jí)設(shè)備使用過(guò)程模擬：包括裝晶圓、扎探針、工藝線操作、封裝線操作等操作過(guò)程。
3.工藝線全流程模擬：學(xué)生猶如置身于一個(gè)真實(shí)的工藝線中。
4.封裝線全流程模擬：學(xué)生猶如置身于一個(gè)真實(shí)的快封線中。
5.測(cè)試線全流程模擬：學(xué)生猶如置身于一個(gè)真實(shí)的測(cè)試線中。
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