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8200系列高精度硅諧振壓力傳感器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

8200系列高精度硅諧振壓力傳感器

詳細(xì)介紹

8000系列是GE采用世界前沿的TERPS技術(shù)而研發(fā)出的產(chǎn)品。TERPS是溝槽刻蝕硅諧振壓力傳感器技術(shù),和現(xiàn)有的壓力測(cè)量技術(shù)相比。它可提供更高等級(jí)的精度和穩(wěn)定性。此外,TERPS技術(shù)還將壓力量程擴(kuò)展到更高的范圍,并通過引入真正的介質(zhì)隔離結(jié)構(gòu)極大程度地提高了傳感器對(duì)惡劣環(huán)境的適用性。

除了擁有TERPS技術(shù)的性能和制造工藝外,8000系列產(chǎn)品傳感器可為高精度、高穩(wěn)定性的壓力測(cè)量提供無二的解決方案。

特點(diǎn)

高精度,全補(bǔ)償溫度范圍內(nèi)±0.01%FS

高穩(wěn)定性±100ppm FS/ S

最寬溫度范圍,-40°C 125°C

介質(zhì)隔離結(jié)構(gòu)可選,尤其適用于苛刻環(huán)境

多種輸出信號(hào)可選,RS232或RS485或頻率(TTL)輸出

多種壓力接口和電氣連接可選

8200/8300

200kPa 700kPa 1.4MPa 2MPa 3.5MPa

7MPa

過壓

8000/8200/8300

1.5×FS

8100

2×FS

破壞壓力

2.0×FS

封堵壓力

8000/8200/8300

700kPa

7MPa

700kPa

7MPa

20MPa

性能指標(biāo)

性能指標(biāo)有兩個(gè)等級(jí)可選:標(biāo)準(zhǔn)級(jí)和提高級(jí)

以下精度指標(biāo)包含非線性、遲滯、重復(fù)性的綜合影響以及全補(bǔ)償溫度范圍內(nèi)的溫度影響

對(duì)于頻率輸出模式,上述精度可通過隨傳感器提供的多項(xiàng)式曲線擬和算法及相應(yīng)系數(shù)計(jì)算得到。

補(bǔ)償溫度范圍

多種補(bǔ)償溫度范圍可選

8000/8100 8200/8300

-10°C~+ 50°C -10°C ~+50°C

-40°C ~+ 85°C -40°C~+85°C

-40°C ~+125°C

溫度影響

所有溫度已包含在精度指標(biāo)內(nèi)

長(zhǎng)期穩(wěn)定性

標(biāo)準(zhǔn)級(jí):±0.02%FS/年

提高級(jí):±0.02%FS/年

注:除非另有說明,上述指標(biāo)均在以下參考條件下獲得25°C±5°C

加速度影響

8000/8200/8300

<0.02kPa/g

• 8000/8100

8100

<0.005kPa/g

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