變壓吸附制氮工藝流程架構(gòu)：

1. 空氣壓縮機(jī)：空氣通過空氣壓縮機(jī)進(jìn)行收集和壓縮，為氧氣發(fā)生器提供氣源。參考指標(biāo):電壓和功率。

2.四級(jí)過濾器：空氣凈化作用?？梢赃^濾壓縮空氣當(dāng)中的顆粒，水，油，粉塵。過濾精度達(dá)到0.01ppm。

3.冷凍干燥機(jī)：通常進(jìn)入空氣網(wǎng)的壓縮空氣都含有99%的水蒸汽。當(dāng)空氣冷卻時(shí)蒸汽便會(huì)凝結(jié)，所以不僅會(huì)破壞壓縮空氣系統(tǒng)，還會(huì)對(duì)最終產(chǎn)品造成損壞?？諝饨?jīng)過冷凍干燥機(jī)的干燥處理，可以保證設(shè)備系統(tǒng)健康運(yùn)行。

(當(dāng)空氣露點(diǎn)≦45℃，另外選配吸附式干燥機(jī)，對(duì)低露點(diǎn)氣源進(jìn)行二次處理)

4.空氣儲(chǔ)存罐：空氣經(jīng)過一定帶壓設(shè)備的處理，需要在進(jìn)入下一個(gè)組件之前，穩(wěn)定和緩沖壓力的作用。一級(jí)和二級(jí)兩只儲(chǔ)氣罐。

5.氧氣發(fā)生器：采用PSA變壓吸附工藝，通過分子篩吸附和脫附的相互交替，實(shí)現(xiàn)氧氮分離。

6.氧氣儲(chǔ)存罐：從氧氣發(fā)生器出來(lái)的合格氧氣，通過管道輸送到氧氣儲(chǔ)罐中。氧氣罐自帶安全閥，當(dāng)壓力達(dá)到一定的數(shù)值，安全閥會(huì)自動(dòng)泄放壓力，使整個(gè)系統(tǒng)處于安全的工作環(huán)境。

環(huán)保行業(yè)變壓吸附制氮機(jī)裝置流程圖示：

環(huán)境空氣經(jīng)壓縮凈化，除去油、水、塵后，進(jìn)入由兩個(gè)裝填有碳分子篩的吸附塔組成的變壓吸附裝置。壓縮空氣由下至上流經(jīng)吸附 塔，其間氧分子在碳分子篩表面吸附，氮?dú)庥晌剿隙肆鞒?，進(jìn)入粗氮緩沖罐，經(jīng)過一段時(shí)間后，吸附塔中碳分子篩被吸附的氧飽和，需進(jìn)行再生。再生是通過停止吸附步驟，降低吸附塔壓力來(lái)實(shí)現(xiàn)的。兩個(gè)吸附塔交替進(jìn)行吸附和再生，從而確保氮?dú)獾倪B續(xù)輸出。

技術(shù)指標(biāo)參數(shù)：

流量：3~2000nm³/hr

純度：≥95-99.999%

壓力：0.01-0.8Mpa(以內(nèi)可調(diào))

露點(diǎn)：-45℃

氧含量：≤5ppm

過濾精度：0.001ppm

行業(yè)應(yīng)用范圍

1、半導(dǎo)體封裝行業(yè)應(yīng)用
用氮?dú)夥庋b、燒結(jié)、退火、還原、儲(chǔ)存。宏博變壓吸附制氮機(jī)協(xié)助業(yè)類各大廠家在競(jìng)爭(zhēng)中贏