測量范圍：200mm ×100 mm  
分辨率：0.0002mm
準確度：(0.8+L/100)μm（其中L為被測長度，單位為mm）
工作臺
方工作臺尺寸：260mm×270mm   
方工作臺承放工件高度：140mm
工作臺承重：40kg
主顯微鏡立柱    
傾斜范圍：±12°     
傾斜角度分度值：30′

物鏡

CCD 攝像頭    
1/3英寸彩色（或黑白）CCD，像素數(shù)：795×596
光學定位器
最小探測孔徑: φ5mm   
探測深度：15mm
測量力：0.1N    
測頭直徑的檢定極限誤差：0.0005mm
環(huán)境要求：室溫20℃±1℃，相對濕度40％－60％RH
儀器外形尺寸(mm) : 長1300×寬1250×高800
儀器質(zhì)量： 450kg