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?近幾年來，X-RAY射線三維透視成像檢測技術(shù)3D X-RAY取到了迅猛發(fā)展，并一步步發(fā)展為高集成度電子器件制造行業(yè)的檢測方式。X光三維透視成像檢測技術(shù)相較于傳統(tǒng)X射線二維成像檢測X-RAY，X射線顯微鏡它能夠無盲區(qū)再現(xiàn)被測物內(nèi)部構(gòu)造，不會有結(jié)構(gòu)影像重疊現(xiàn)象，以二維斷層圖像或三維立體圖像的形式，對瑕疵精確定位和判定，信息*，在微納制造技術(shù)、電子器件科學(xué)等領(lǐng)域有非常重要和普遍的運(yùn)用。
廣東三本工業(yè)測量儀器公司擁有蔡司Xradia 800 & 810 Ultra X射線顯微鏡，是基于光學(xué)放大的微米CT。CT成像的原理是當(dāng)X射線透過樣本時(shí)，樣本的各個(gè)部位對X射線的吸收率不同。X射線源發(fā)射X射線，穿透樣本，最終在X射線檢測器上成像。對樣本進(jìn)行180°以上的不同角度成像，與臨床CT普遍采用的扇形X線束不同的是，Micro-CT射線顯微鏡通常采用錐形X線束。
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采用錐形束不僅能夠獲得真正各向同性的容積圖像，提高空間分辨率，提高射線利用率，而且在采集相同3D圖像時(shí)速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)快于扇形束。通過計(jì)算機(jī)軟件，將每個(gè)角度的圖像進(jìn)行重構(gòu)，還原成在電腦中可分析的3D圖像。通過軟件：觀察樣本內(nèi)部各個(gè)截面的信息；對樣本感興趣部分進(jìn)行2D和3D分析；還可以制作直觀的3D動畫等。
廣東三本工業(yè)測量儀器公司擁有蔡司Xradia 800 & 810 Ultra X射線顯微鏡，是基于光學(xué)放大的微米CT。CT成像的原理是當(dāng)X射線透過樣本時(shí)，樣本的各個(gè)部位對X射線的吸收率不同。X射線源發(fā)射X射線，穿透樣本，最終在X射線檢測器上成像。對樣本進(jìn)行180°以上的不同角度成像，與臨床CT普遍采用的扇形X線束不同的是，Micro-CT射線顯微鏡通常采用錐形X線束。
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采用錐形束不僅能夠獲得真正各向同性的容積圖像，提高空間分辨率，提高射線利用率，而且在采集相同3D圖像時(shí)速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)快于扇形束。通過計(jì)算機(jī)軟件，將每個(gè)角度的圖像進(jìn)行重構(gòu)，還原成在電腦中可分析的3D圖像。通過軟件：觀察樣本內(nèi)部各個(gè)截面的信息；對樣本感興趣部分進(jìn)行2D和3D分析；還可以制作直觀的3D動畫等。
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