WikiOptics WikiLitho型 激光光刻機

【W(wǎng)ikiOptics photolithography】

產(chǎn)品簡介 Product introduction

WikiLitho是使用375nm激光二極管的光刻設(shè)備。 其高度準直的激光束可以形成非常清晰的圖案。

WikiLitho is a photolithography device using a 375nm laser diode. Its highly collimated laser beam can make very clear patterns.

性能特點 Performance characteristics

● 合理的價格

● Reasonable price

● 操作簡單

● Simple operating

● 激光點掃描

● Laser spot scanning

● 可傾斜模式（0°?30°）

● Slanted pattern possible(0°~30°)

● 大的固化面積超過12英寸

● Large curing area over 12"

● 已安裝安全門

● Safety door installed

操作步驟：

1、將設(shè)備（帶有光罩）放在桌子上，然后放進去。

1. Put the substrate (with a photomask) on the table and put them in.

2、按下或旋轉(zhuǎn)“ SET"（設(shè)置）旋鈕以更改參數(shù)值。

2. Press or turn the "SET" knob to change the parameter values.

3、按下“運行"按鈕開始激光固化。

3. Press the "RUN" button to start the laser curing.

技術(shù)指標 Technical indicators

注：

1、光功率和工作溫度可能會隨環(huán)境溫度而變化。

1、Optical power and operating temperature may be changed on the ambient temperature.

2、光斑尺寸數(shù)據(jù)來自高斯光束軌跡模擬。

2、The spot size data is from the Gaussian beam trace simulation.

注意事項 Precautions

1、儀器及被測量零件應(yīng)放在較穩(wěn)定的工作臺上。工作環(huán)境應(yīng)力求溫度恒定，做測件與儀器中間不得有抖動的氣流，如通風口、暖氣片、電烙鐵、臺燈、人體溫度等，應(yīng)盡量避免其影響。

2、觀察表而鍍反射膜的反射鏡自準像應(yīng)選擇小功率燈泡，觀察表面未鍍反射膜的光學零件(如平行平板、棱鏡等)的自準像則應(yīng)選擇功率大的燈泡，該儀器可使用6v5w以下的小燈泡。

3、在可能的情況下每一個自準像多次瞄準所讀取的讀數(shù)取平均值計算可降低瞄準誤差，提高儀器精度。一般取3～5次。

4、儀器使用前應(yīng)用軟性紗布和航空汽油將基面的防繡油脂清擦干凈。

5、儀器的二維測微器，供用戶在觀察時使用。

6、測微鼓輪系由精密螺桿付組成，使用時，切勿旋轉(zhuǎn)過快，或用力過猛，以防精密螺桿精度走失及定位失靈。

保養(yǎng)維護 Maintenance

1、該儀器系精密光學儀器，應(yīng)該由專人保管。使用者應(yīng)了解儀器的原理、性能及使用方法。使用存放應(yīng)十分小心，防止碰撞及振動。應(yīng)保持工作環(huán)境的消潔及溫度穩(wěn)定。

2、儀器出廠時各部份均保證了良好的性能，除可調(diào)部份一般不能隨意拆開調(diào)整。如發(fā)生故障應(yīng)由有經(jīng)驗的人檢修或送回制造廠家檢修。

3、鏡頭及目鏡的外露玻璃部分切忌手摸，應(yīng)盡量少擦。如有灰塵可用軟毛刷輕輕掃掉。如有印跡可用脫脂棉或鏡頭紙蘸少量的酒精的混合物歧丙酮等進行擦拭。

4、鏡管及其它外露表面可用溶劑汽油清擦干凈。儀器使用后應(yīng)蓋上護蓋，若長時間不用應(yīng)裝入箱內(nèi)并放平于干燥、溫度適當之處進行保管。

5、儀器使用后，對精密工作表面應(yīng)及時用軟性紗布和航空汽油擦干凈并涂上適量防銹油脂。

6、儀器應(yīng)經(jīng)常保持清潔，特別是光學及精密零件表面，應(yīng)盡量避免手指接觸和碰傷，光學表面還應(yīng)盡量減少擦拭，若需擦拭時，可先用脫脂棉花沾少量的酒精加混合劑（1 ： 8），輕輕擦拭以保持光學表面的清潔。

7、儀器使用完畢后，宜放在干燥、低溫處。

8、儀器搬運時，應(yīng)防止沖撞和較大的震動，以免精度損失。

9、儀器應(yīng)定期維護檢測，以保證原有精度。