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(研發(fā)中心)分子泵機組

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更新時間:2024-05-31 07:14:15瀏覽次數(shù):338

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產品簡介

(研發(fā)中心)分子泵機組

詳細介紹

型號Model

單位 Unit

FJ-80

進氣口法蘭 Flange(In)

 

DN63 ISO-K

DN63 CF

排氣口法蘭 Flange(Out)

ISO-KF

DN16

抽速速率 Pumping Speed

l/s

N2:62

He:55

H2:34

Ar:65

壓縮比 Compression Ratio

 

N2: 109

He: 105

H2:104

Ar:109

極限壓強 ultimate Pressure

Pa

3×10-5(ISO-K);5×10-6(CF)

建議啟動壓強recommended fore-vacuum pressure

Pa

<50

前級泵型號forevacuum pump

 

GHD-031B①(標配 standard)

冷卻方式 Cooling type,Standard

 

風冷 Air

冷卻水流量 Cooling Water Consumption

L/min

>1

冷卻水溫度 Cooling Water Temperature

℃

≤25

輸入電壓頻率Input voltage / frequency

V/Hz

220±20/50

環(huán)境溫度 environment temperature

℃

5-40

安裝方式 mounting position

 

垂直 Veritcal

適配電源型號Controller Model

 

 

長×寬×高 L*W*H

mm

400×300×260

重量 Weight

kg

16-21

 ?、龠x配干泵,具體型號咨詢銷售人員dry pump on request

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