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超高真空排氣臺

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更新時間:2024-05-30 10:58:07瀏覽次數(shù):170

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產(chǎn)品簡介

應(yīng)用于光探測器用電子玻璃材料、光敏微精玻璃等光電子玻璃產(chǎn)品的制造。

詳細介紹

  應(yīng)用領(lǐng)域

  應(yīng)用于光探測器用電子玻璃材料、光敏微精玻璃等光電子玻璃產(chǎn)品的制造。

  技術(shù)性能

  1.工位接口數(shù)量:6-20工位;

  2.極限真空度:抽排的工件極限真空度10-8Pa;

  3.無油污染:采用無油機械泵與分子泵,避免油蒸汽對工作環(huán)境的污染;

  4.烘烤:烘箱加熱,烘烤溫度可達到200℃且具有溫度顯示和可調(diào)功能;

  5.工位處配置充N2接口,使在卸下工件時能夠充入N2保護。

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