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TM3030 型掃描電子顯微鏡

一、用途

Hitachi TM3030型掃描電子顯微鏡(SEM)向來被廣泛用于生物、材料、化學、物理等各種不同領(lǐng)域的表面觀察和分析。但是由于SEM的局限性，使用者需要花費大量時間在樣品制備和電鏡的操作上。

為此，日立在原有的，已受到廣泛好評的TM-1000的技術(shù)上，精益求精，研發(fā)出結(jié)構(gòu)更緊湊、功能更齊備、操作更簡便的TM-3000臺式掃描電子顯微鏡。通過簡單的操作，即可達到觀察微觀世界的目的。

二、技術(shù)規(guī)格

項目	內(nèi) 容
放大倍率	15X～30,000X(數(shù)字放大：2X、4X)
觀察模式	標準模式、減輕荷電模式、大束流分析模式
圖像模式	形貌像、成份像、陰影像1、陰影像2、凹凸像
電子光學系統(tǒng)
電子槍	預(yù)對中發(fā)夾型鎢燈絲
加速電壓	5kV、15kV 、EDX
透鏡系統(tǒng)	3級電磁式透鏡會聚系統(tǒng)
電位移	±50μm (WD=4.5mm、觀察條件：標準模式)
能譜分析位置	WD=10mm, TOA=35°
樣品臺
樣品臺控制	2軸手動樣品臺
樣品可移動范圍	X：±17.5mm、Y：±17.5mm
*大樣品尺寸	直徑70mm
*大樣品厚度	50mm
檢測器	高靈敏4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測器
真空系統(tǒng)
自動控制系統(tǒng)	全自動氣動閥控制系統(tǒng)
*高真空度	1.5×10-5Pa
可變真空度	6~270Pa(22steps)
渦輪分子泵	30L/s 1臺
隔膜泵	1m3/h 1臺
真空計	1臺
自動功能
自動燈絲飽和	已配備
自動電子束設(shè)定	已配備
自動電子槍對中	已配備
自動合軸	已配備
自動聚焦、消像散	已配備
自動亮度、對比度	已配備
自動保護功能	帶有過電流保護功能、漏電遮斷器
計算機控制系統(tǒng)
操作系統(tǒng)	Microsoft Windows® 7
CPU	Intel® CoreTM2 Duo P8700(或與其兼容的PC)
內(nèi)存容量	2GB以上
接口與端子	USB2.0接口(2個)、網(wǎng)路接口(以太網(wǎng))
觀察	15.4英寸LCD；屏幕分辨率1280×800像素
控制	鼠標、鍵盤
掃描速度
TV掃描	640×480象素顯示，25幀/秒
快速掃描	全屏顯示，6.3幀/秒
慢速掃描	全屏顯示，1/4/20/40/80秒/幀 640×480像素顯示，0.5/2/10/20/40秒/幀
圖像數(shù)據(jù)存儲
圖像存儲像素	640 × 480、1,280 × 960像素
圖像數(shù)據(jù)保存	PC帶硬盤及其他記錄媒體
圖像存儲格式	BMP、TIFF、JPEG
圖像信息	微標尺、微值、放大倍率、日期、時間、圖像編號、注釋、觀察條件、觀察模式、圖像模式、工作距離
輔助功能	圖像旋轉(zhuǎn)、簡單測量、三維動畫維護指南
使用環(huán)境
室溫	15°C ～30°C
相對濕度	40%～70%
電源	單相AC100～240V(低90V、高250V) 50/60Hz、3P插座
地線	D類接地，電阻小于100Ω
體積與重量
主機	330(長)×606(寬)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage) 330(長)×630(寬)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage)
隔膜泵	145(長)×256(寬)×217(高)mm、4.5Kg