測(cè)量方式

  菲索干涉原理

 移相方式

  波長(zhǎng)移相或機(jī)械移相

 主機(jī)波長(zhǎng)

  632.8nm  (可定制)

 主相機(jī)分辨率

  2048*2048

 測(cè)量口徑

  4-inch(101.6mm)

 主相機(jī)調(diào)焦能力

  有

 主相機(jī)采集速度

  50Hz

 透射平面參考鏡面形誤差(PV)

  λ/10

 反射平面參考鏡面形誤差(PV)

  ≦ λ/10(可定制 λ/20)

 空腔精度(PV)

  ≦ λ/10，  λ=632.8nm

 面形誤差測(cè)量重復(fù)性(RMS)

  ≦ 1nm  (2δ)

 測(cè)量高平行度光學(xué)元件透、反射波前

  支持

 標(biāo)準(zhǔn)配件

  計(jì)算機(jī) 、條紋監(jiān)視及分析軟件

 相干長(zhǎng)度

  1.0m  (若被擴(kuò)束，此參數(shù)會(huì)變長(zhǎng))

 工作溫度要求

  22℃ ±1℃

 工作溫度波動(dòng)要求

  每小時(shí)變化小于 1℃

 工作濕度要求

  55%±10%RH

 隔震要求

  氣浮平臺(tái)，固有頻率：1-2Hz

 工作電壓

  AC 110-220V,50/60Hz