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分體式復合分子泵

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更新時間:2024-05-24 09:57:14瀏覽次數(shù):293

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產品簡介

意塔爾分子泵:ETR-F 系列的抽吸能力從 10-5000 升L/S秒,全系列緊湊且的渦輪分子泵。有一體式及分體式兩種規(guī)格,其具有高性價比、高可靠性能抽速和安裝角度的靈活性。更好的前級泵兼容性和更大的氣流量,對于小分子氣體 具有更高的壓縮比。1、 一體控制:控制器一體化設計,便于系統(tǒng)集成,可以一鍵啟停; ......

詳細介紹

意塔爾分子泵:ETR-F 系列的抽吸能力從 10-5000 升L/S秒,全系列緊湊且的渦輪分子泵。有一體式及分體式兩種規(guī)格,其具有高性價比、高可靠性能抽速和安裝角度的靈活性。更好的前級泵兼容性和更大的氣流量,對于小分子氣體 具有更高的壓縮比。1、 一體控制:控制器一體化設計,便于系統(tǒng)集成,可以一鍵啟停; 2、精密軸承:脂潤滑精密陶瓷球軸承,可任意角度安裝;3、 產品可靠:渦輪轉子一體成型,無位置傳感器高速電機驅動;4、功能多樣:配件齊全,可提供客戶定制方案; 5、 提供轉速可調功能,滿足客戶一款泵多種抽速的需求; 廣泛應用于:半導體工業(yè)、太陽能光伏、半導體封裝、物理氣相沉積PVD/CVD、離子注入系統(tǒng)、加速器、長晶爐、核聚變研究、真空干燥、真空成型、反應釜、真空鍍膜、半導體工業(yè)、鋰電池制造工藝、芯片制造、平板顯示器、光伏太陽能、真空吸附、真空爐、真空熱處理、鋼和其他冶金、蒸餾/萃取/過濾、制藥其它工藝脫氣/脫泡、分析儀器、高校院所等行業(yè)。

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