等離子表面處理是通過對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性"組成包括：離子、電子、原子、活性基因等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
在線片式真空等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為五大組成部分：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、真空泵系統(tǒng)。
（A）控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)作用在于控制整個在線片式真空等離子清洗設(shè)備的運行，以及整體系統(tǒng)的保護。
（B）激勵電源系統(tǒng)：等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵，在線片式真空等離子采用RF電源，功率0-600W，頻率13.56MHZ。
（C）真空腔體：真空腔體材質(zhì)為鋁合金（可定制不銹鋼腔體）
（D）工藝氣體系統(tǒng)：標(biāo)配兩路工藝氣體，氬氣/氧氣（可定制）
（E）真空泵系統(tǒng)：真空泵組采用油泵，抽真空速度是決定一臺真空等離子清洗機工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。