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詳細(xì)摘要： SPV-24M微波在線片式真空等離子清洗機(jī)是一款針對半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計的MWPLASMA處理及性能檢測整體解決方案的設(shè)備，是實現(xiàn)清潔、活化、除膠、刻蝕功效的理想選擇

詳細(xì)摘要： SPMV-100H腔體式微波真空等離子清洗機(jī)，自由基分子的等離子體無偏壓，不會對產(chǎn)品有電性損壞，去膠速率高

詳細(xì)摘要： 實驗型微波等離子去膠機(jī)

詳細(xì)摘要： ST-3100等離子去膠機(jī)采用高密度低損傷等離子源設(shè)計，采用獨(dú)立腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計，實現(xiàn)均勻的流暢分布，去膠均勻性表現(xiàn)優(yōu)異