8626 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適用于大量氣體的質(zhì)量流量調(diào)控。直接位于氣流中的 Inline 熱傳感器能夠達(dá)到非常快的響應(yīng)速度。一個(gè)直動(dòng)式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備的控制特性。8626 型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。作為電氣接口，既提供模擬標(biāo)準(zhǔn)信號，也提供現(xiàn)場總線。由于耐抗污染且......