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最近登錄：2024-05-16

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最近幾年超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)有了快速發(fā)展，對超純水的水質提出了更高的要求，超純水中所含雜質的允許含量越來越低，同時需要控制的雜質種類也越來越多

　　最近幾年超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)有了快速發(fā)展，對超純水的水質提出了更高的要求，超純水中所含雜質的允許含量越來越低，同時需要控制的雜質種類也越來越多。為了有效去除各種雜質，需要各種處理手段的綜合運用。

　　通常我們超純水系統(tǒng)分為三部分：預處理，初級處理和拋光精制處理。

　　1.預處理系統(tǒng)通常由過濾、殺菌和防氧化工藝組成;

　　2.初步處理系統(tǒng)主要由反滲透、離子交換器、膜脫氣、紫外設備等組成。

　　3.精制處理部分通常包括TOCUv、拋光混床、膜脫氣以及終端超濾裝置。