X/Y行程(mm)

200×100

Z軸升降(mm)

150

玻璃臺(tái) (mm)

320×160

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

底座,移動(dòng)工作臺(tái)均采用高精度花崗石

照明系統(tǒng)

表面光源與透射光源均用LED，亮度可調(diào)

CCD攝像機(jī)

采用1/3″中國(guó)臺(tái)灣敏通高清晰彩色CCD（也可按需要選配其它品牌）

放大倍率

Step Zoom光學(xué)放大率：0.7～4.5X，影像放大率：30～225X

測(cè)量精度

（3+L/200）um

分辨率

0.001mm

重復(fù)性

0.002mm

操作方式

手動(dòng)操作

電源

220V(AC) / 50HZ

環(huán)境

溫度：19～24℃，濕度：45%～75%

保修期

一年