低溫等離子是由電子、離子、自由基和中性粒子流組成，工作狀態(tài)呈流星雨狀電性流體，屬固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之外的第四種物質(zhì)形態(tài)。等離子發(fā)生器整體保持電中性，。

工作原理：

采用低溫等離子體分解工業(yè)廢氣、惡臭廢氣等污染介質(zhì)時，等離子體中的離子起決定性的作用。流星雨狀的等離子與介質(zhì)發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)介質(zhì)的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過程是污染介質(zhì)處于活化狀態(tài)。污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫離。當(dāng)離子平均能量超過污染介質(zhì)中化學(xué)鏈結(jié)合能時，分子鏈段裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能由污染介質(zhì)成分決定發(fā)生的各類化學(xué)反應(yīng)，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質(zhì)濃度及共存的介質(zhì)成分。裂解工業(yè)廢氣如：氨、胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結(jié)構(gòu)，使或無機(jī)高分子惡臭化合物分子鏈，降解轉(zhuǎn)變成低分子化合物，如CO2、H2O等。