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詳細介紹
| 晶圓測試探針臺 | |||||
| 型號 | SE-4 | SE-6 | SE-8 | SE-12 | |
| 外形 | 580mm長* 620mm寬* 730mm高 | 640mm長* 700mm寬* 730mm高 | 660mm長* 660mm寬* 700mm高 | 1030mm長 *820mm寬* 730mm高 | |
| 重量 | 約70KG | 約80KG | 約85KG | 約180KG | |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | ||||
| 樣品臺 | 尺寸 | 4英寸，可360度旋轉 | 6英寸，可360度旋轉 | 8英寸，可360度旋轉 | 12英寸，可360度旋轉 |
| X-Y行程 | 4英寸*4英寸 | 6英寸*6英寸 | 8英寸*8英寸 | 12英寸*12英寸 | |
| Z軸行程 | 6mm（快速切換）/6mm（微調） | ||||
| 移動精度 | 10um/1um | ||||
| 樣品固定方式 | 真空吸附 | ||||
| 背電極測試功能 | 有，樣品臺電學獨立懸空 | ||||
| 針座平臺 | U型平臺，多可放置6個針座 | U型平臺，多可放置8個針座 | U型平臺，多可放置10個針座 | U型平臺，多可放置12個針座 | |
| 光學特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm | |||
| 顯微鏡移動精度 | 1um | ||||
| 切換鏡頭方式 | 顯微鏡快速傾仰30度 | ||||
| 放大倍數 | 16~100X/20~4000X | ||||
| 鏡頭規(guī)格 | 目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配） | ||||
| CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字） | ||||
| 點針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | |||
| 機械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | ||||
| 漏電精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱時） | ||||
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口 | ||||
| 應用方向 | 芯片及LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試等。 | ||||
| 可選附件 | 顯微鏡傾仰裝置（傾仰30度） | 高低溫樣品臺 | 光強/波長測試選件 | ||
| 顯微鏡氣動升降裝置 | 屏蔽箱 | 射頻測試附件 | |||
| 激光微加工 | 轉接頭 | 有源探頭 | |||
| 探針卡夾具 | 防震臺 | 低電流/電容測試 | |||
| 顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 | 鍍金卡盤 | 兼容積分球測試選件 | |||
| 液晶漏電分析套裝 | 同軸叁軸卡盤 | 光纖夾具耦合測試選件 | |||
| 高壓/大電流測試套件 | 樣品臺快速升降，微調升降裝置選件 | PCB/封裝夾具測試選件 | |||
| 加熱臺 | 樣品臺旋轉微調選件 | 特殊定制 | |||
| 特點 | 1.顯微鏡龍門柱式設計，可使顯微鏡在平面內移動。 | ||||
| 2.顯微鏡可傾仰或氣動升降，便于更換物鏡。 | |||||
| 3.可升級做射頻，大電流方面的測試和激光修復應用。 | |||||
| 4.同軸驅動卡盤，移動精度高。 | |||||
| 特點 | |||||
| 緊湊的結構 | 同軸絲杠傳動結構，線性移動 | ||||
| 實惠的價格 | 無回程差設計 | ||||
| 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調移動 | 1微米以上電極/PAD測試 | ||||
| 高等院校/研究所/公司實驗室使用 | LD/LED/PD的光強/波長測試 | ||||
| 可用于12英寸以內樣品測試 | 材料/器件的IV/CV特性測試 | ||||
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