詳細(xì)介紹
| 小型分析探針臺 | ||||
| 型號 | SM-4 | SM-6 mini | SM-6 | |
| 外形 | 400mm長*400mm寬*550mm高 | 400mm長*400mm寬*550mm高 | 680mm長*530mm寬*550mm高 | |
| 重量 | 約30KG | 約35KG | 約45KG | |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
| 樣品臺 | 尺寸 | 4英寸,可360度旋轉(zhuǎn) | 6英寸,可360度旋轉(zhuǎn) | 6英寸,可360度旋轉(zhuǎn) |
| X-Y行程 | 4*4英寸 | 4*4英寸 | 6*6英寸 | |
| 移動(dòng)精度 | 10um | |||
| 樣品固定方式 | 真空吸附 | |||
| 背電極測試功能 | 有,樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空 | |||
| 針座平臺 | U型平臺,多可放置6個(gè)針座 | U型平臺,多可放置8個(gè)針座 | ||
| 光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | 可360度旋轉(zhuǎn),Z軸:50.8mm | ||
| 放大倍數(shù) | 16~100X (200X可選) | |||
| CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | |||
| 點(diǎn)針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | ||
| 機(jī)械精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | |||
| 漏電精度 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱時(shí)) | |||
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口 | |||
| 可選附件 | 加熱臺 | 光強(qiáng)/波長測試選件 | ||
| 屏蔽箱 | 射頻測試附件 | |||
| 轉(zhuǎn)接頭 | 有源探頭 | |||
| 防震臺 | 低電流/電容測試選件 | |||
| 鍍金卡盤 | 兼容積分球測試選件 | |||
| 同軸/三軸卡盤 | 光纖夾具耦合測試選件 | |||
| 樣品臺快速升降,微調(diào)升降裝置選件 | PCB/封裝夾具測試選件 | |||
| 樣品臺旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件 | 特殊定制 | |||
| 應(yīng)用方向 | 芯片及LD/LED/PD測試,PCB/封裝器件測試,射頻測試等。 | |||
| 特點(diǎn) | ||||
| 緊湊的結(jié)構(gòu) | 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng) | |||
| 輕巧的質(zhì)量 | 無回程差設(shè)計(jì) | |||
| 實(shí)惠的價(jià)格 | 10微米以上電極/PAD測試 | |||
| 高等院校/研究所實(shí)驗(yàn)室使用 | LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試 | |||
| 可用于6英寸以內(nèi)樣品測試 | 材料/器件的IV/CV特性測試 | |||
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